系統(tǒng)描述:對(duì)振動(dòng)不敏感的泰曼格林型動(dòng)態(tài)干涉儀
采集模式:動(dòng)態(tài)或機(jī)械相移
準(zhǔn)直模式:可見對(duì)準(zhǔn)激光
工作波段:3.39µm或10.6µm
相干長(zhǎng)度:>60m
光束直徑:14mm 準(zhǔn)直;兩個(gè)輸出端
偏振態(tài):線偏光
輸出:測(cè)量光:<4 mW @ 3.39 µm ,<500 mW @10.6 µm; 對(duì)準(zhǔn)光: <5 mW @532 nm
相機(jī)像素:640 x 512 pixels; 512 x 512 陣列視場(chǎng)
外形尺寸: 85 cm x 41 cm x 20 cm
采集速率:>25幀/秒 (后處理)
最小曝光時(shí)間:500微秒
樣品反射率:10-99%
RMS重復(fù)性:<0.001wave*
RMS精度:<0.002wave**
*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均
**采用10個(gè)數(shù)據(jù),每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均;以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來(lái)計(jì)算RMS平均作為結(jié)果
擴(kuò)束器:1英寸,2英寸,4英寸,6英寸
球面擴(kuò)束鏡頭:F/1 to F/6;接受定制






























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