PhaseCam 6000是一款便攜式的緊湊型動態(tài)干涉儀，適用于測量光學(xué)元件及系統(tǒng),易于定位安裝,是測量大口徑光學(xué)系統(tǒng)如凹面望遠鏡、透鏡、長焦距系統(tǒng)的理想儀器。采用的單CCD相移探測器,可以在短至35us的時間內(nèi)進行波前測量能夠在有振動及氣流的場合使用。

系統(tǒng)描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態(tài)相移干涉儀

采集模式：單CCD光學(xué)相位探測器

光源：穩(wěn)頻HeNe@632.8nm

相干長度：>100m

光束直徑：7mm collimated

偏振態(tài)：圓偏光

相機像素：2000×2000pixels，12bit

外形尺寸： < 65.4 x 21.7 x 13.8 cm 

采集速率：>10幀/秒 顯示；4副干涉圖/幀

                 >25幀/秒 數(shù)據(jù)采集帶后數(shù)據(jù)處理

最小曝光時間：35微秒

樣品反射率：1-99% （無需衰減）

RMS重復(fù)性：<0.001wave*

RMS精度：<0.002wave**

*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均

**采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果

球面擴束鏡頭：F/1 to F/32；可選 F/35, F/40, F/50

球面反射鏡： NA0.06， NA0.1， NA0.4， NA0.7

可選高速相機：1us 曝光時間

可選高能HeNe激光光源