AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
人機工程學(xué)設(shè)計,操作方便
- 可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
- 分別對應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。
堅固、可靠和安全傳送
- 延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
- 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
- 宏觀觀察位置的化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
| 自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規(guī)格 | ||
| AL120-LMB12-LP3 | AL120-LMB12-F | |
| 晶圓尺寸 | 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm | |
| 卡盒 | ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 ●SEMI:E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB, FOSB | ●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開門搬運盒 ●SEMI:M31-0999規(guī)格產(chǎn)品 |
| 卡盒數(shù) | 單盒(裝載、卸載兼用) | |
| 卡盒設(shè)置高度 | 900 mm | |
| 裝載端口 | 有 | 無 |
| 搬運順序 | 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 | |
| 檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
| 晶圓校準(zhǔn) | 非接觸式中心環(huán) | |
| 晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
| 適用顯微鏡 | 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L | |
| 應(yīng)用環(huán)境 | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa 壓縮空氣0.5MPa~0.6MPa | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa |
| 載物臺 | XY手動吸附載物臺,有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機構(gòu) | |
| 重量(不包括顯微鏡) | 約360 kg | 約270 kg |




































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