中圖儀器白光干涉儀檢測半導(dǎo)體晶圓表面粗糙度，亞納米級粗糙度重復(fù)性（0.005nm RMS），滿足晶圓級表面質(zhì)量的嚴(yán)苛管控要求。

0.005nm RMS重復(fù)性意味著什么？深度解讀SuperView W1白光干涉儀的硬核參數(shù)

在白光干涉儀的參數(shù)表里，"分辨率"和"重復(fù)性"經(jīng)常被混為一談，但對真正做精密測量的人來說，重復(fù)性比分辨率更重要——分辨率是理論極限，重復(fù)性才是日常測量能穩(wěn)定達(dá)到的精度。

中圖儀器SuperView W1的RMS粗糙度重復(fù)性達(dá)到0.005nm，這意味著：

① 數(shù)據(jù)可信度拉滿

同一樣品連續(xù)測10次，粗糙度結(jié)果的波動在0.005nm以內(nèi)。發(fā)表頂刊論文、做工藝對比實(shí)驗(yàn)，數(shù)據(jù)經(jīng)得起反復(fù)驗(yàn)證，不會因?yàn)闇y量誤差得出錯(cuò)誤結(jié)論。

② 微小變化精準(zhǔn)捕捉

相變凝膠從20℃升溫到70℃，表面粗糙度的變化可能只有零點(diǎn)幾納米。如果設(shè)備本身重復(fù)性不夠，根本分不清是材料真變了還是測量誤差。0.005nm的重復(fù)性，讓納米級的形貌演變清晰可見。

③ 長期穩(wěn)定性有保障

重復(fù)性指標(biāo)背后是整套系統(tǒng)的硬實(shí)力：光源穩(wěn)定性、PZT掃描精度、隔振設(shè)計(jì)、環(huán)境抗噪算法……每一項(xiàng)都做到位才能穩(wěn)定輸出埃米級數(shù)據(jù)。

其他關(guān)鍵參數(shù)同樣能打：

- 0.1nm Z軸分辨率：微觀細(xì)節(jié)不遺漏

- 非接觸光學(xué)探針：軟物質(zhì)零損傷

- 高反/弱反自適應(yīng)：相變前后反射率劇變不丟數(shù)據(jù)

- ISO標(biāo)準(zhǔn)粗糙度參數(shù)：國際通用，論文發(fā)表無障礙

中圖儀器白光干涉儀檢測半導(dǎo)體晶圓表面粗糙度，參數(shù)不注水，實(shí)測見真章。歡迎預(yù)約樣機(jī)測試，拿您的樣品來驗(yàn)證。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。