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高低溫真空探針臺(tái)

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地廣州市
  • 更新時(shí)間2025-03-20
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)廣州市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量63
  • 人氣值2584
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同類(lèi)產(chǎn)品
麗景電子科技(廣州)有限公司和艾維特電子科技(佛山)有限公司 是專業(yè)從事儀器設(shè)備和探針臺(tái)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù)的。代理銷(xiāo)售的儀器設(shè)備有通用儀器、探針臺(tái)、光刻機(jī)、手套箱、真空鍍膜機(jī)、通訊設(shè)備、自動(dòng)化系統(tǒng)、集成電子設(shè)備及軟件開(kāi)發(fā)。 公司不僅致力于以上各類(lèi)產(chǎn)品的行銷(xiāo),更注重于為客戶提供全面解決方案,包括售前技術(shù)服務(wù)、安裝及培訓(xùn)服務(wù)、售后技術(shù)支持及升級(jí)維修服務(wù)。以高質(zhì)量的產(chǎn)品、高度的服務(wù)意識(shí)、高效率地為廣泛的客戶提供*、快捷的服務(wù)。 麗景電子科技(廣州)有限公司 和艾維特電子科技(佛山)有限公司 專注于為半導(dǎo)體、LCD、太陽(yáng)能、等行業(yè)領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為全國(guó)各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的測(cè)試儀器,立志成為行業(yè)的探針臺(tái)專用檢測(cè)設(shè)備專家,為行業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)自己的力量。我們代理銷(xiāo)售國(guó)內(nèi)外產(chǎn)牌如:概倫電子、北京博達(dá)微電子(PDA)、美國(guó)國(guó)家儀器(NI)、泰克(Tektronix)、吉時(shí)利( Keithley)、美國(guó)Tegam、是德(keysight), Fluke, ,LeCroy,GGB,Lakeshore等,主營(yíng)產(chǎn)品有:半導(dǎo)體分析儀、示波器、功率校準(zhǔn)系統(tǒng)、微歐姆計(jì)、高精度數(shù)字電表、多通道資料采集系統(tǒng),數(shù)字源表,函數(shù)產(chǎn)生器,任意波形產(chǎn)生器,功率計(jì),電壓放大器,精密電壓/電流源 ,半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng),1/F測(cè)試系統(tǒng),CV測(cè)試儀,電子負(fù)載,頻率計(jì),微波,無(wú)線通訊綜合測(cè)試設(shè)備,功率放大器,交流,直流電源供應(yīng)器,UPS,發(fā)電機(jī),手動(dòng)探針臺(tái)(包含晶圓測(cè)試探針臺(tái)、射頻探針臺(tái)、雙面探針臺(tái)、氣敏探針臺(tái)、真空高低溫探針臺(tái)等)、自動(dòng)探針臺(tái)、探針臺(tái)配件、激光測(cè)試儀、美國(guó)GGB探針(包含射頻探針、微波探針、高頻探針、直流探針等)、蜂窩式光學(xué)平臺(tái)、金相顯微鏡、I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀等。 目前公司營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)點(diǎn)已覆蓋廣州、深圳、北京、上海、武漢、青島、長(zhǎng)沙、貴陽(yáng)、澳門(mén)、珠海、廈門(mén)、江門(mén)、中山、湛江等城市,服務(wù)過(guò)上千家客戶,部分案例有:清華大學(xué)、中山大學(xué)、暨南大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、華南理工大學(xué)、華南農(nóng)業(yè)大學(xué)、深圳大學(xué)、湖北大學(xué)、湘南學(xué)院、嶺南師范學(xué)院、華南師范大學(xué)、淮陰工學(xué)院、湖北大學(xué)、華中科技大學(xué)、公司,曲阜師范大學(xué)、季華實(shí)驗(yàn)室、華星光電、深圳技術(shù)大學(xué)、澳門(mén)大學(xué)、五邑大學(xué)、深圳理工學(xué)院、深圳材料研究院、電子科技大學(xué)、貴州大學(xué)、凱里學(xué)院等。 專業(yè)、誠(chéng)信、勤奮、熱忱是我們的工作作風(fēng),我們時(shí)刻滿懷著服務(wù)好每一位新老客戶的心愿,期待著您的垂詢!
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極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗
高低溫真空探針臺(tái) 產(chǎn)品詳情

極低溫測(cè)試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試:

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。

整體規(guī)格:

載物Chuck 溫度范圍:4.2K-480K

外置4個(gè)定位針臂

探針X-Y-Z三方向移動(dòng),行程:25mm,定位精度:10微米

最多可以外置6個(gè)定位針臂

載物chuck 可到2寸

雙屏蔽chuck高低溫時(shí)達(dá)到100FA 的測(cè)試精度

針臂定位精度可以升級(jí)為0.7微米

極限真空到10-8 torr

可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測(cè)試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體

客戶訂制

溫控規(guī)格:

控溫范圍

4K-480K

控溫精度

0.1K

溫度穩(wěn)定性

4 K + - 0.2 K


77 K + - 0.1 K


373 K + - 0.08 K


473 K + - 0.1 K


823 K + - 0.2 K(可選)


973 K + - 1.0K(可選)

常溫到8K冷卻時(shí)間:

1小時(shí)40分鐘

8K到常溫升溫時(shí)間:

1小時(shí)30分鐘

從常溫開(kāi)始的升溫時(shí)間

200 ℃ 550℃ 700 ℃

(4 chuck,單位分:秒)

1:00 1:30 2:00

電源

直流

材質(zhì)

不銹鋼

功率(4chuck)

850W

機(jī)械規(guī)格:

針座行程

X軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm

Y軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm

Z軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm

移動(dòng)精度


X軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Y軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Z軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

探針可旋轉(zhuǎn)角度

+-5 度



光學(xué)部件規(guī)格:

顯微鏡X-Y軸方向行程

2"*2"


可以選擇4"*4"

總共放大倍率

240X


可以選擇更高倍率

真空腔觀察窗口

2 inch


外部石英材質(zhì)99%紅外線穿過(guò)率


內(nèi)部吸收紅外線僅可見(jiàn)光通過(guò)

光源

150W可連續(xù)調(diào)節(jié)

雙光纖導(dǎo)引

可選附件

防震桌

方形chuck

分子泵組

射頻部件

Chuck可外部移動(dòng)裝置

客戶定制。


關(guān)鍵詞:顯微鏡
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