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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>測量/計量>其它測量>其它測量>半自動、全自動探針臺

半自動、全自動探針臺

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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地廣州市
  • 更新時間2025-03-20
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)廣州市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量63
  • 人氣值2567
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同類產(chǎn)品
麗景電子科技(廣州)有限公司和艾維特電子科技(佛山)有限公司 是專業(yè)從事儀器設(shè)備和探針臺設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的。代理銷售的儀器設(shè)備有通用儀器、探針臺、光刻機、手套箱、真空鍍膜機、通訊設(shè)備、自動化系統(tǒng)、集成電子設(shè)備及軟件開發(fā)。 公司不僅致力于以上各類產(chǎn)品的行銷,更注重于為客戶提供全面解決方案,包括售前技術(shù)服務(wù)、安裝及培訓(xùn)服務(wù)、售后技術(shù)支持及升級維修服務(wù)。以高質(zhì)量的產(chǎn)品、高度的服務(wù)意識、高效率地為廣泛的客戶提供*、快捷的服務(wù)。 麗景電子科技(廣州)有限公司 和艾維特電子科技(佛山)有限公司 專注于為半導(dǎo)體、LCD、太陽能、等行業(yè)領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的測試儀器,立志成為行業(yè)的探針臺專用檢測設(shè)備專家,為行業(yè)的發(fā)展貢獻自己的力量。我們代理銷售國內(nèi)外產(chǎn)牌如:概倫電子、北京博達微電子(PDA)、美國國家儀器(NI)、泰克(Tektronix)、吉時利( Keithley)、美國Tegam、是德(keysight), Fluke, ,LeCroy,GGB,Lakeshore等,主營產(chǎn)品有:半導(dǎo)體分析儀、示波器、功率校準系統(tǒng)、微歐姆計、高精度數(shù)字電表、多通道資料采集系統(tǒng),數(shù)字源表,函數(shù)產(chǎn)生器,任意波形產(chǎn)生器,功率計,電壓放大器,精密電壓/電流源 ,半導(dǎo)體測試系統(tǒng),1/F測試系統(tǒng),CV測試儀,電子負載,頻率計,微波,無線通訊綜合測試設(shè)備,功率放大器,交流,直流電源供應(yīng)器,UPS,發(fā)電機,手動探針臺(包含晶圓測試探針臺、射頻探針臺、雙面探針臺、氣敏探針臺、真空高低溫探針臺等)、自動探針臺、探針臺配件、激光測試儀、美國GGB探針(包含射頻探針、微波探針、高頻探針、直流探針等)、蜂窩式光學(xué)平臺、金相顯微鏡、I-V/C-V參數(shù)測試儀等。 目前公司營銷網(wǎng)點已覆蓋廣州、深圳、北京、上海、武漢、青島、長沙、貴陽、澳門、珠海、廈門、江門、中山、湛江等城市,服務(wù)過上千家客戶,部分案例有:清華大學(xué)、中山大學(xué)、暨南大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、華南理工大學(xué)、華南農(nóng)業(yè)大學(xué)、深圳大學(xué)、湖北大學(xué)、湘南學(xué)院、嶺南師范學(xué)院、華南師范大學(xué)、淮陰工學(xué)院、湖北大學(xué)、華中科技大學(xué)、公司,曲阜師范大學(xué)、季華實驗室、華星光電、深圳技術(shù)大學(xué)、澳門大學(xué)、五邑大學(xué)、深圳理工學(xué)院、深圳材料研究院、電子科技大學(xué)、貴州大學(xué)、凱里學(xué)院等。 專業(yè)、誠信、勤奮、熱忱是我們的工作作風(fēng),我們時刻滿懷著服務(wù)好每一位新老客戶的心愿,期待著您的垂詢!
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LJX系列半自動晶圓探針臺型號LJX-6LJX-8LJX-12外形(W*D*H)1000mm*1400mm*1400mm1100mm*1500mm*1400mm1200mm*1600mm*1400mm重量約1000KG約1150KG約1350KG電力需求AC220V
半自動、全自動探針臺 產(chǎn)品詳情

LJX系列半自動晶圓探針臺

型號

LJX-6

LJX-8

LJX-12

外形(W*D*H)

1000mm*1400mm*1400mm

1100mm*1500mm*1400mm

1200mm*1600mm*1400mm

重量

約1000KG

約1150KG

約1350KG

電力需求

AC220V,50~60Hz

CDA需求

0.4~0.8Mpa

Chuck

尺寸

6″

8″

12″

X-Y軸行程

200mm*300mm

250mm*400mm

350mm*500mm

X-Y軸移動解析度

0.1μm

X-Y軸重定位精度

≤±1μm

X-Y移動速度

≥70mm/sec

Z軸行程

20mm

Z軸移動解析度

0.1μm

Z軸重定位精度

≤±1μm

Z軸移動速度

≥20mm/sec

Theta角度行程

±10°

Theta角度解析度

0.0001°

樣品固定方式

Theta方向重復(fù)精度:1.75um,多孔真空吸附,獨立分開控制

更換樣品方式

Chuck快速拉出

結(jié)構(gòu)

三軸超低噪聲設(shè)計,鍍金,電學(xué)獨立懸空(chuck可作為背電極)

針座平臺

規(guī)格

O型平臺,最多可放置12個針座(不安裝八角盒時)

顯微鏡X-Y-Z

X-Y軸行程

2″* 2″

X-Y軸移動解析度

0.1μm

X-Y軸重定位精度

≤±2μm

X-Y移動速度

≥10mm/sec

Z軸行程

5″

Z軸移動解析度

0.1μm

Z軸重定位精度

≤±1μm

Z軸移動速度

≥10mm/sec

顯微鏡

變倍顯微鏡

15:1三檔變倍顯微鏡,可同時顯示低倍和中倍/高倍畫面,便于點針操作

相機

雙相機(200W或者500W 工業(yè)級數(shù)字相機)

點針規(guī)格

點針精度

10μm / 2μm / 0.7μm

X-Y-Z行程

13mm-13mm-13mm

漏電精度

10pA / 100fA / 10fA

接口形式

香蕉頭/同軸 /三軸/ SMA /SHV等 水平調(diào)節(jié)范圍≤5°

固定方式

磁力吸附 / 真空吸附

溫控組件

溫度范圍

﹣60℃-200℃(標準)

溫控穩(wěn)定性

±0.1℃

溫控分辨率

0.01℃

升溫時間
(12″卡盤)

﹣60℃至+25℃≤10分鐘
+25℃至+200℃≤10分鐘

降溫時間
(12″卡盤)

﹢200℃至+25℃≤12分鐘
﹢25℃ 至-60℃≤25分鐘

噪聲

<60dB

加熱方式

低壓直流加熱/PID控制

制冷方式

壓縮機制冷

減震

減震方式

空氣薄膜減震系統(tǒng),確保2000X放大時畫面不抖動

震動抑制

在運動過程中以及起始或者停止時能夠極快的速度保證設(shè)備的平穩(wěn)≤1S,提高測試效率。

系統(tǒng)屏蔽

EMI屏蔽

> 20 dB (typical) @ 1 kHz to 20GHz

光衰減

≥ 120 dB

光譜噪聲基底

≤ -150 dBVrms/rtHz

系統(tǒng)交流噪聲

≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz)

軟件功能

自動測量和補償Wafer高度

可對儀表的輸入輸出參數(shù)進行管理編程

可實時顯示測試結(jié)果

自動align,校準晶圓校水平

可對測試結(jié)果進行bin值劃分,判斷器件好壞

器件測試應(yīng)用獨立升級

自動測量Die size及生成map圖

多系統(tǒng)集成迅速完成,可支持單點或連續(xù)測試

*的數(shù)據(jù)儲存能力以及數(shù)據(jù)處理能力

任意wafer map 編輯

支持Z,N形等測試

自動保存數(shù)據(jù)以及數(shù)據(jù)曲線,且數(shù)據(jù)可遠程訪問

差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark

一鍵自動校準RF探針模塊,自動清針功能

通訊接口:R232/485/TCP/IP/GPIB

可測光波長:1260~1620mm

最小輻射直徑≤10um

最小模場直徑≤3um

射頻探針包含GS-GSS兩種類型,定位間距50um~1250um

可配備四象開爾文探針

操作系統(tǒng)與應(yīng)用分離;操作系統(tǒng)可獨立式升級,應(yīng)用獨立升級


特點:

可測試祼片級(單顆)、PCB板級、深腔內(nèi)部(深腔≥ 8mm)

具備IV、CV、PI等曲線測試能力

多倍率同時顯示光學(xué)系統(tǒng) (放大倍率720X)

具備RF射頻校準功能

(-60~200℃)超低噪聲高低溫Chuck

可升級射頻測試 ,測試頻率超過67GHZ

功能豐富的測試軟件

可升級全自動測試


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