Sela納米裂片系統(tǒng) MC600i

?    概況

SELA的MC600i 自動納米裂片系統(tǒng)可以自動、快速的獲得高質(zhì)量的樣品截面，它具備在幾分鐘內(nèi)完成單個樣品的裂解（包括切割樣品的兩側(cè)），裂解效果可以達到亞微米的精度，截面的質(zhì)量也且無須專業(yè)人士的全程指導(dǎo)，系統(tǒng)所配備的算法可以實現(xiàn)裂解過程中的全自動映射和規(guī)劃。

MC600i系統(tǒng)可用于制備高質(zhì)量截面樣品，以供后續(xù)掃描電子顯微鏡（SEM）的檢測

本系統(tǒng)通過刻痕和斷裂的雙重過程制備樣品且獲得高質(zhì)量截面。斷口延晶片的一個或兩個正交劈裂矢量傳播。標準的制備過程包括兩個主要階段

•  通過一個兩級精密微裂解的設(shè)備來制備已經(jīng)預(yù)設(shè)定寬度并已做好裂解位置標記點的晶片段；

•  通過精密的納米裂解設(shè)備來制備已經(jīng)做好裂解位置標記點的截面樣品。

精確的微裂解設(shè)備是圍繞物理裂解晶片段的概念來設(shè)計生產(chǎn)的。

高精度的納米裂解設(shè)備包括首先在預(yù)定的邊緣位置以高精度的要求來刻劃晶片段，然后根據(jù)這個邊緣位置引導(dǎo)機械進行沖擊，使得裂紋通過刻劃過的位置沿晶體的正交向量裂開并精準的通過裂解位置標記點。從而完成晶片段的完整裂解。

?   性能

•  截面精度：300納米， 100納米（HMO），1西格瑪（全工藝）

•  截面精度：±5 微米，1西格瑪（單工藝和SDO工藝）

•  截面質(zhì)量：自然裂解

•  技術(shù)包含：納米裂解，高精度微裂解和裂解

?     MC600i 工藝流程  

1、快速微裂解

2、高精度納米裂解

?   初樣制備

初始樣品應(yīng)使用SELA的初樣制備設(shè)備（PCM）進行制備。

在樣品制備之前將特定的標記點設(shè)定好，初始樣品的尺寸和放置應(yīng)如下（俯視圖）

贗品尺寸和標記點位置

?   制樣效果