帶有Probe Hover Control™的壓板提升機(jī)

MPI TS200-THZ手動(dòng)測(cè)頭系統(tǒng)具有的功能，這些都是具有高度可重復(fù)性（1 µm）的壓板提升設(shè)計(jì)，具有用于安全，接觸，分離（300 µm）和加載（3 mm）的三個(gè)離散位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時(shí)提供直觀的控制，準(zhǔn)確的觸點(diǎn)定位和安全設(shè)置。如果毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的探頭成本很高，則此功能尤其重要。

附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探頭與焊盤對(duì)齊。

卡盤Z調(diào)整

TS150-TH有10mm的精細(xì)卡盤Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。對(duì)于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個(gè)彎曲解決方案的設(shè)置非常有利-可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。

MicroPositioners的多種配置

專用的極剛性探針臺(tái)板設(shè)計(jì)可容納兩個(gè)東西方向的粗體->向下MP80大面積MicroPositioner。通過將兩個(gè)南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可以輕松進(jìn)行四端口RF測(cè)量或DC偏置。

MP80-DX

市場(chǎng)上另一個(gè)MPI開拓性解決方案–的MP80-DX具有Δl低至1µm的簡(jiǎn)單，精確的清晰度–是精確且經(jīng)濟(jì)高效的多線TRL的理想選擇-多行TRL –毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的RF校準(zhǔn)方法。欲了解更多詳情，請(qǐng)?jiān)L問 MPI QAlibria ^®軟件。

各種卡盤選項(xiàng)

TS200-THZ提供多種  卡盤選件， 以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求，例如MPI：

• 帶BNC連接器的標(biāo)準(zhǔn)RF卡盤

• 專用mmW卡盤，內(nèi)置具有高導(dǎo)熱率（> 180 W / Km）的特殊陶瓷，甚至

• ERS AirCool射頻卡盤（從20°C到200°C或更高），帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔

所有卡盤都有兩個(gè)由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準(zhǔn)，尤其是在40 GHz以上的范圍內(nèi)。

各種光學(xué)選項(xiàng)

提供專用的  MPI光學(xué)元件  ，可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學(xué)變焦高達(dá)12倍，工作距離超過45毫米。由于集成擴(kuò)頻器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應(yīng)用。

擴(kuò)頻器集成

TS200-THZ集成了全新的擴(kuò)頻器集成設(shè)計(jì)。為了地減少到DUT的距離并提供的測(cè)量方向性，MPI引入了一種新穎的概念，將擴(kuò)展器懸停在整個(gè)200 mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺(tái)的附加關(guān)鍵功能是輕松，便捷和快速地重新配置。

在不同頻段之間切換時(shí)，防撞保護(hù)器已嵌入到設(shè)計(jì)中，以提高安全性。