MPI探針臺（各尺寸手動、半自動機(jī)型；高頻、高壓機(jī)型；高低溫機(jī)型；力學(xué)/光學(xué)/真空/磁學(xué)模塊等等）。

MPI探針臺系統(tǒng)專業(yè)提供探針臺及所有相關(guān)直流/射頻附件以及相關(guān)半導(dǎo)體測試整體解決方案。得益于其的性價比，廣受國內(nèi)外用戶的好評。TS150,TS200,TS300是常用的手動式探針臺，簡單，直觀，方便，  并確保  高度準(zhǔn)確的測量。

以下是MPI探針臺的特點(diǎn)：

 Air-bearing stage-氣浮式樣品臺技術(shù)：很多探針臺的廠家通常配備的是傳統(tǒng)的滾珠式/軸承式樣品臺，內(nèi)部移動是都會產(chǎn)生摩擦，因此存在了響應(yīng)慢，易損耗，需定期維護(hù)（添加潤滑油）等固有缺點(diǎn)。MPI探針臺的載物臺采用的氣浮支撐技術(shù)，我們成為Air-bearing stage技術(shù)。很好解決了傳統(tǒng)的滾珠式/軸承式樣品臺固有缺點(diǎn)，即消除內(nèi)部摩擦，避免日常使用損耗，免去定期維護(hù)等麻煩。并且該設(shè)計可以使得樣品臺在移動范圍內(nèi)360°移動，而不受X/Y導(dǎo)軌限制移動（其他品牌無法同時X/Y移動，只能選一個方向移動）。

b. Platen Lift技術(shù)-三段平面式升降及下針：影響探針臺測試結(jié)果很大程度上取決于探針與樣品的接觸。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下針并且內(nèi)置安全鎖（其他廠家是兩段），不僅實(shí)現(xiàn)了1um重復(fù)性，同時也使得整個下針過程變得十分平緩且平穩(wěn)從而避免了撞針。這大大提升了用戶的體驗(yàn)，方便了用戶的操作。

c.溫控觸屏設(shè)計：MPI手動探針臺可以選配各類樣品臺，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸樣品臺，及加熱樣品臺（200℃/300℃）。并且配備智能化觸摸屏，可以隨時快速調(diào)節(jié)樣品臺加熱問題，實(shí)時顯示溫度變化。高精度、便捷的溫度控制功能，便于客戶進(jìn)行實(shí)驗(yàn)設(shè)計和測試。

d. Microscope bridge mount：MPI探針臺具備了Microscope bridge mount，方便用戶自行購置并升級顯微鏡。這點(diǎn)也是其他探針臺所不具備的。對于這類的用戶而言，如果今后要升級顯微鏡，只能從探針臺原廠購買。但是其實(shí)探針臺廠家往往并不制造光學(xué)顯微鏡。而MPI則更多的為客戶考慮，把顯微鏡的選擇權(quán)交在客戶手里。這也是MPI設(shè)計了Microscope bridge mount的初衷。

e. 所有核心部件均自行生產(chǎn)：諸如主機(jī)臺，直流/射頻探針座，直流/射頻線纜及探針等核心部件均為MPI公司自行生產(chǎn)。很多探針臺廠商的射頻探針也都是從MPI購買的。此外，MPI探針臺的產(chǎn)品線也非常豐富，擁有手動、半自動、全自動、射頻/微波、高功能等所有探針臺系列。 

設(shè)備結(jié)構(gòu)：