隨著新興太赫茲應(yīng)用的大量擴(kuò)展，如高速5G通信，衛(wèi)星，非侵入性光譜，安全和監(jiān)視，醫(yī)療和保健設(shè)備以及短程汽車?yán)走_(dá)，對(duì)精確，可靠和可重復(fù)測(cè)量數(shù)據(jù)的需求比以往變得更加重這些THz

MPI TS150-THZ 工程探針臺(tái)系統(tǒng)是一種專用的，經(jīng)濟(jì)高效的手動(dòng)探頭系統(tǒng)，專為基板和亞太赫茲150 mm晶圓的精密分析而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)非常穩(wěn)定，具有大型探頭壓板和低調(diào)設(shè)計(jì)。這些基本元件中的每一個(gè)都需要支持各種RF和mmW應(yīng)用，例如高達(dá)110 GHz的寬帶，高達(dá)1.1THz的帶狀解決方案，負(fù)載牽引和RF噪聲。

單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計(jì)

無縫集成各種寬帶、差分、毫米波或?qū)拵ьl率擴(kuò)展器和自動(dòng)阻抗調(diào)諧器

全新設(shè)計(jì)的擴(kuò)展器、調(diào)諧器集成，可實(shí)現(xiàn)的動(dòng)態(tài)測(cè)量

的機(jī)械穩(wěn)定性和重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)方便和安全的操作

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)

方便單手操作的，快速移動(dòng)氣浮式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)

堅(jiān)固且空間充足的工作臺(tái)，可乘載大型微定位器和毫米波模塊擴(kuò)展器

三段式工作臺(tái)快升把手設(shè)計(jì) (contact - separation - loading)，實(shí)現(xiàn)接觸、分離和加載的高性能

彈性選配與升級(jí)

可選振動(dòng)隔離支持大型自動(dòng)阻抗調(diào)諧器

專用光學(xué)元件，用于縮短電纜和波導(dǎo)的長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)的測(cè)量方向性

各種夾頭選件，印刷電路板和各種附件，如DC / RF /毫米波定位器

      直流、射頻和THZ微定位器的探針板設(shè)計(jì)

MPI探針懸停控制TM配有懸停高度（50、100或150μm）， 便于探針與Pad的對(duì)準(zhǔn)。

世界上無二,確的接觸/超大行程控制， 精度為1um,便于測(cè)量的重復(fù)性和精確性

無縫集成任何擴(kuò)頻器，以在200毫米晶片上獲得 測(cè)量方向性

陶瓷輔助夾頭

用于測(cè)試單個(gè)集成電路的專用ERS熱夾頭

機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)：