| 規(guī)格 參數(shù) | XVM-2515CNC | XVM-3020CNC | XVM-4030CNC | XVM-5040CNC | |
| 工 作 臺(tái) | X/Y軸行程 | 250*150 | 300*200 | 400*300 | 500*400 |
| Z軸行程 | 有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm,工作距離95mm | ||||
| 金屬臺(tái)面尺寸 | 450*320 | 450*350 | 550*450 | 700*600 | |
| 玻璃臺(tái)面尺寸 | 300*200 | 330*230 | 430*330 | 530*430 | |
| 傳動(dòng)型式 | 傳動(dòng)型:進(jìn)口X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌和進(jìn)口研磨級(jí)滾珠螺桿 | ||||
| 測(cè)量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 光學(xué)尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005MM(0.5UM) | ||||
| 測(cè)量精度:≤3UM+L/200 重復(fù)精度:≤3UM+L/200 | |||||
| X/Y/Z三軸高性能伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng) | |||||
| 影像系統(tǒng) | 攝像機(jī):日本彩色1/3″CCD 攝像機(jī)放大倍率30-230X | ||||
| 鏡頭:NAV高清連續(xù)變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X 可選配:0.5X物鏡時(shí),總放大倍率15-115X 可選配:2X物鏡時(shí),總放大倍率60-460X | |||||
| 光源系統(tǒng) | 程控八區(qū)光源,表面光源與透射光源均為L(zhǎng)ED冷光源、壽命長(zhǎng)、軟件自動(dòng)調(diào)節(jié)! | ||||
| 儀器外形尺寸(L*W*H) | 650*850*1650 | 700*850*1650 | 800*900*1650 | 900*1050*1650 | |
| 儀器重量(KG) | 250 | 330 | 500 | 720 | |


































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