單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

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型號
品牌
所在地合肥市
更新時間2025-07-25

安徽科冪機(jī)械科技有有限公司

廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
所在地區(qū)合肥市
實名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量147
人氣值3067

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科冪儀器是專業(yè)從事研發(fā)和制造科研級化學(xué)儀器設(shè)備的國家*。公司學(xué)術(shù)帶頭人為中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博導(dǎo)，技術(shù)團(tuán)隊由博士、碩士和高級工程師組成，擁有雄厚的研發(fā)力量和豐富的成功案例經(jīng)驗。自2014年成立以來，公司致力于為廣大科研工作者設(shè)計、研發(fā)并生產(chǎn)高質(zhì)量、通用型的中高壓反應(yīng)設(shè)備與容器、分子蒸餾設(shè)備、催化劑評價裝置、成套流體系統(tǒng)等。我們一直致力于滿足科研工作者對儀器設(shè)備的多樣化、個性化需求，為客戶提供優(yōu)質(zhì)、化的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。

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產(chǎn)品特點高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點

高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；
可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。

技術(shù)參數(shù)

項目	型號	TFE - 1200 - 50 - Ⅰ - 220
可達(dá)溫度		1150℃（短期）
額定溫度		1100℃
推薦升溫速率		≤10℃/min
控制精度		±1℃
爐管尺寸		Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸		Φ80*220mm
加熱區(qū)長度		220mm
恒溫區(qū)長度		80mm
加熱元件		優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率		3KW
供氣系統(tǒng)		三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制）
射頻電源		射頻功：5-500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動匹配
真空系統(tǒng)		雙級旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵分子泵等）
外形尺寸		1250510810mm

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關(guān)鍵詞：真空泵

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