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面板TEG prober

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面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2025-08-16
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量150
  • 人氣值1612
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:0.1um精度的直線電機(jī)平臺(tái),全自動(dòng)測(cè)試,超高的測(cè)試精度。
面板TEG prober 產(chǎn)品詳情
面板TEG Prober
型號(hào) TEG prober-G6 TEG prober-G8.5
外形 2850mm(寬)x2500mm(長(zhǎng))x2500 mm(高)  4000mm(寬)x3500mm(長(zhǎng))x2500 mm(高)
重量 約9700KG 約14200KG
電力需求          380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
可測(cè)試液晶屏尺寸 長(zhǎng)寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 長(zhǎng)寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
平臺(tái)功能 Gantry結(jié)構(gòu)  龍門式,可以選擇雙龍門
X-Y-Z軸運(yùn)動(dòng)行程 1850*1500 *58mm(X-Y-Z)  2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
X-Y運(yùn)動(dòng)速度 0~600mm/s可調(diào) 探針規(guī)格 針卡 兩套,可同時(shí)測(cè)試兩個(gè)patten
X-Y精度(小移動(dòng)量) 0.1um Pitch范圍:定制 
X-Y重復(fù)定位精度 ±1um 探針材質(zhì):鎢or鈹銅等
X-Y 軸驅(qū)動(dòng) 直線電機(jī)+光柵尺 工作模式:可以單獨(dú)測(cè)試,或者兩個(gè)針卡一起測(cè)試。兩個(gè)針卡間的相互距離可調(diào)。
Z 運(yùn)動(dòng)速度 0~10mm/s可調(diào)
Z精度 0.25um 探針和TEG對(duì)位方式 坐標(biāo)定位
Z重復(fù)定位精度 ±1um 測(cè)試過程中的二次視覺檢測(cè)
Z軸驅(qū)動(dòng) 伺服電機(jī)+光柵尺 探針和TEG的接觸方式 自動(dòng)接觸
Z軸保護(hù) 電機(jī)自鎖+機(jī)械限位保護(hù) 探針自動(dòng)保護(hù)功能:edge sensor 和機(jī)械限位,可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度,點(diǎn)針的OD值可設(shè)。
樣品臺(tái)平整度 ±50um平整度 
樣品臺(tái)涂層 防靜電涂層
樣品臺(tái)高低溫  Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃)
光學(xué)特性 光路系統(tǒng)倍率:  5X ,10X ,20X,50X  Objects  探針軸旋轉(zhuǎn)行程 ±90°
放大倍率范圍50X~ 500X  探針旋轉(zhuǎn)精度 0.01°
聚焦 自動(dòng)聚焦 旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度 0.03°
CCD 200/500萬像素工業(yè)相機(jī) 探針清潔 自動(dòng)清針
光源 面背光、點(diǎn)背光、上光源 清潔后自動(dòng)測(cè)針
光源亮度獨(dú)立可調(diào),面背光可選擇分區(qū)控制 探針臺(tái)漏電精度(安裝針卡的情況) 100fA 以內(nèi)(測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):給針卡任意針腳加壓—5V~+5V,在不吹N2的情況下,空載測(cè)試漏電流<100fA)吹氮?dú)釴2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開啟N2且N2測(cè)試報(bào)告體現(xiàn)開N2與不開N2區(qū)別)
激光特性(選件) 激光系統(tǒng) 激光切割系統(tǒng)(2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)
0-99%
激光波長(zhǎng) 1064nm,532nm,355nm
光斑尺度 1.0um @100X  object 測(cè)試能力 測(cè)試系統(tǒng) 兩套
2.0um @50X  object 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng):2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測(cè)試單元+高精度矩陣開關(guān)等
工作模式 One Shot/Burst/Continue
形狀 可調(diào)節(jié)的矩形 TFT測(cè)試項(xiàng)目 Ion
控制 工作模式 自動(dòng)測(cè)試,CIM通訊,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出 Ioff
Vth
上下片 機(jī)械手或者流水線 Mobility
CIM系統(tǒng) 有 Swing
減震 被動(dòng)式減震系統(tǒng),能夠確保點(diǎn)針測(cè)試的穩(wěn)定性 Resistance測(cè)試項(xiàng)目 Rs
工業(yè)PC 23寸顯示器&電腦:i7 處理器,1TB硬盤2塊 Rc
(其中一塊為備份硬盤),8G內(nèi)存,1G獨(dú)立顯卡 輸送電壓 ±200V
通訊接口 RS232/485/TCP/IPGPIB等 輸送電流 ±1A
安全 整機(jī)帶屏蔽罩,操作人員在屏蔽罩外操作 電流測(cè)試分辨率 1fA(無需前置放大器)
緊急開關(guān)EMO 電壓測(cè)試分辨率 0.5uV 
限位sensor,運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和探針系統(tǒng)限位互鎖 CV 測(cè)試頻率范圍 1kHz~5MHz
Interlock報(bào)警,自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選)  接地單元電流宿能力 4.2A GNDU
應(yīng)用方向 OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學(xué)測(cè)試
 
特點(diǎn):
業(yè)界快的測(cè)試速度 超高的測(cè)試精度
穩(wěn)定的測(cè)試結(jié)果 mult-probe card設(shè)計(jì)
0.1um精度的直線電機(jī)平臺(tái) 自動(dòng)清針,自動(dòng)測(cè)針
極小的針痕損傷 全自動(dòng)測(cè)試
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
白光干涉儀檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面粗糙度 ¥960000 深圳市 深圳市中圖儀器股份有限公司 2026-09-18 在線詢價(jià)
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手動(dòng)測(cè)量?jī)xGT-VMS-3020F 面議 東莞市 東莞市高天試驗(yàn)設(shè)備有限公司 2026-09-17 在線詢價(jià)
頻率變送器 面議 安徽春輝儀表線纜集團(tuán)有限公司 2026-09-15 在線詢價(jià)
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