一維軸采用閉式氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向,垂直采用真空預(yù)載,直線電機(jī)驅(qū)動和光柵尺閉環(huán)反饋,二維軸采用龍門氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向,雙直線電機(jī)驅(qū)動和雙光柵尺閉環(huán)反饋。
線纜管理
經(jīng)過多年制造精密運(yùn)動平臺的經(jīng)驗(yàn),線纜管理對精度和性能有影響,我們選擇進(jìn)口無塵線纜,精心優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能,以確保操作,減少停機(jī)時(shí)間。無塵線纜相對于普通的坦克鏈,更適用于無塵潔凈室。
密封罩設(shè)計(jì)
龍門軸的密封罩設(shè)計(jì),帶自清掃功能(特殊設(shè)計(jì)不影響精度性能),防止異物進(jìn)入氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部。防止誤操作出現(xiàn)人為傷害。
大理石基座設(shè)計(jì)
采用濟(jì)南大理石做龍門基座及橋架,第七階(前六階為剛體模態(tài),第七階為柔性模態(tài))模態(tài)為300Hz,想要在此基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn),提高模態(tài),則模態(tài)變?yōu)?07Hz。
氣浮隔振臺
考慮到振動對性能的影響,建議加氣浮隔振。
控制方案
在精密運(yùn)動控制行業(yè)性能及精度保證,可根據(jù)用戶的使用習(xí)慣配置控制方案。




































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