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公司介紹主營產(chǎn)品

上海頻標科技有限公司是一家專業(yè)的實驗室儀器設備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測試服務及方案咨詢和品牌代理等于一體。公司業(yè)務主要涵蓋實驗室各類測量測試設備及分析儀器、生命科學試劑及耗材、光譜學測量、半導體微電子運動控制及振動控制等多個領域。我司下設光電事業(yè)部、生命科學事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導體微電子、生命科學等領域客戶，并長期以來秉承“請將問題交給我們，時間留給科研!”的企業(yè)理念，誠信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供優(yōu)質的服務。

上海頻標科技有限公司由來自于東京大學、中科院研究所、吉林大學及復旦大學等多位業(yè)內儀器儀表及解決方案領域的教授、博士、碩士等專業(yè)團隊構成，公司致力于打造實驗室綜合解決方案和服務提供商。我們崇尚專注、專業(yè)、專長，以努力為各類客戶提供專家型一站式服務為宗旨。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

該系列產(chǎn)品包含堆疊式XYZ Stage、堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System）產(chǎn)品詳情

類別

描述

堆疊式XYZ Stage

平臺特性

堆疊式3 軸平臺，正交性設計
全局平面度、直線度達微米級

X/Y 軸

高剛度內循環(huán)滾柱導軌
無線纜擾動力設計

Z 軸

垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度
高剛性、高精度導向設計
垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
超薄型、輕量化設計
垂向可支持25mm 行程
支持轉速240rpm

控制系統(tǒng)

ACS 8 軸驅動器，支持PEG、STO 等功能
ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ 系統(tǒng)，采用模塊化、超薄設計、正交性設計等理念，將MZ-10Stage 標準模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZ-10 Stage 標準模組采用了大行程磁浮重力補償技術，具有降低垂向電機的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命的功能?？蓪崿F(xiàn)高精度上下方向定位的升降。十字平臺Cross XY Stage模組采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應用于晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。

堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）

平臺特性

堆疊式4 軸平臺，正交性設計
全局平面度、直線度達微米級

X/Y 軸

高剛度內循環(huán)滾柱導軌
無線纜擾動力設計

Z 軸

垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度
高剛性、高精度導向設計
垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
超薄型、輕量化設計
垂向可支持24mm 行程

Rz 軸

360 旋轉，無管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附
支持±0.7mm 翹曲晶圓
支持轉速240rpm

控制系統(tǒng)

ACS 8 軸驅動器，支持PEG、STO 等功能
ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ 臺采用模塊化、超薄設計、正交性設計等理念，將MZT-24-CRGStage 標準模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋轉運動平臺和垂向運動創(chuàng)新性的在軸向進行耦合的設計思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運動無限制旋轉。十字平臺Cross XY Stage 模組采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動。可廣泛應用于晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。

堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

平臺特性

堆疊式7 軸平臺，正交性設計
全局平面度、直線度達微米級

X/Y 軸

高剛度內循環(huán)滾柱導軌
無線纜擾動力設計

Z3T 軸
垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度

柔性導向設計
垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
超薄型、輕量化設計
支持轉速240rpm
超過±0.2°的搖擺和傾斜修正

控制系統(tǒng)

ACS 8 軸驅動器，支持PEG、STO 等功能
ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ3T 臺采用模塊化、超薄設計、正交性設計等的理念，將MZ3T標準模組集成在XYY 堆疊式水平運動模組之上，能實現(xiàn)X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 軸6 自由度的高精度、高剛度運動。其中MZ3T 標準模組采用緊湊設計技術，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 軸，具有擁有優(yōu)異的定位精度、平面度、直線度、剛性和重復性精度的功能。垂向采用了的磁浮重力補償技術，降低了垂向音圈電機的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命。XYY 堆疊式水平運動模組采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2自由度的高精度、高剛度直線運動。可廣泛應用于晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。特別適用于特定大型面板/基體上的倒晶封裝。

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
吸引設備胸腔引流設備自由空氣流量測試儀	￥910000	上海市	上海程斯智能科技有限公司	2026-09-19	在線詢價
紡織品頂破強度測試儀	￥880000	菏澤市	山東賽銳特檢測儀器有限公司	2026-09-19	在線詢價
微量元素分析儀	￥8888	青島市	青島華瑞生物科技有限公司	2026-09-18	在線詢價
全自動高精度薄膜測厚儀	￥2500	濟南市	濟南初創(chuàng)機電設備有限公司	2026-09-18	在線詢價
消防水帶耐壓爆破試驗機	￥850000	上海市	上海誠衛(wèi)儀器科技有限公司	2026-09-18	在線詢價
步入式防塵試驗箱	面議	東莞市	東莞市高天試驗設備有限公司	2026-09-17	在線詢價

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