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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫(kù)>實(shí)驗(yàn)儀器>其它實(shí)驗(yàn)儀器>其它儀器>美國(guó)PIE EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔儀

EM-KLEEN/SEMI-KLEEN quartz/SEMI-KLEEN sapphire 美國(guó)PIE EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔儀

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  • 型號(hào)EM-KLEEN/SEMI-KLEENq
  • 品牌
  • 所在地南京市
  • 更新時(shí)間2025-08-26
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)江蘇
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值3966
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南京覃思科技有限公司是由原南京江南光學(xué)儀器廠光電儀器專家出資設(shè)立的一家從事光學(xué)、電子儀器銷售與服務(wù)的專業(yè)公司。公司經(jīng)營(yíng)范圍主要為:光學(xué)儀器;光電測(cè)量?jī)x器;電子儀器;與儀器配套的計(jì)算機(jī)軟硬件的銷售、研發(fā)以及技術(shù)服務(wù)。公司具有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),擁有良好的客戶資源和技術(shù)能力,所銷售的儀器質(zhì)量和服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
代理銷售的產(chǎn)品為:“美國(guó)OGP”三坐標(biāo)測(cè)量顯微鏡;“韓國(guó)MIRERO”掃描電子顯微鏡AIS2100(掃描電鏡SEM);Delong USA Inc低壓桌上型透射電鏡LVEM5(LVTEM超小型臺(tái)式透射電鏡);“美國(guó)熱電NORAN”X-RAY能譜儀;“英國(guó)EMITECH”電鏡制樣設(shè)備;“日本尼康(NIKON)”生物顯微鏡;“美國(guó)Maxwell”冷光儀(BL/CL法摩爾濃度儀、生物發(fā)光儀、化學(xué)發(fā)光檢測(cè)儀);“德國(guó)萊卡(LEICA)”金相顯微鏡、其它工業(yè)顯微鏡;“日本拓普康(TOPCON)”色彩輝度計(jì)BM-7等系列、分光輻射度計(jì)SR-3;“英國(guó)雷尼紹(RENISHAW)”激光干涉儀、球桿儀;國(guó)產(chǎn)“江南牌(JN)”各類顯微鏡;“貴陽(yáng)新天”萬(wàn)工顯、投影儀、測(cè)長(zhǎng)儀;以及與儀器配套的顯微圖象處理分析軟件系統(tǒng)(含各種進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)CCD攝像頭)DT-2000等,本公司是韓國(guó)MIRERO株式會(huì)社*的掃描電子顯微鏡(掃描電鏡SEM)中國(guó)總代理,同時(shí)還是“英國(guó)EMITECH”電鏡制樣設(shè)備、韓國(guó)SurfaceTech界表面張力\接觸角測(cè)量?jī)x中國(guó)總代理以及Delong USA Inc桌上型低壓透射電鏡LVEM5中國(guó)大陸代理商。本公司還承接各種顯微鏡的數(shù)字化改造。技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
本公司一向堅(jiān)持以“誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、誠(chéng)實(shí)服務(wù)”為立業(yè)宗旨,奉行“精研覃思、無(wú)微不至”的企業(yè)文化,公司將以更優(yōu)秀的科技產(chǎn)品及服務(wù)回報(bào)社會(huì),愿與社會(huì)各界竭誠(chéng)合作,共同發(fā)展。
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用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統(tǒng)的遠(yuǎn)程等離子清潔儀。遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體,分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基,活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室,并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠(yuǎn)程等離子清潔儀可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品!
美國(guó)PIE EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔儀 產(chǎn)品詳情

遠(yuǎn)程等離子清潔儀

 

用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統(tǒng)的遠(yuǎn)程等離子清潔儀。遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體,分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基,活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室,并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠(yuǎn)程等離子清潔儀可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品!

 

遠(yuǎn)程等離子清潔儀系列具有三種型號(hào):

1)EM-KLEEN 一款智能設(shè)計(jì)、功能*的下游式等離子清潔儀。

2)SEMI-KLEEN quartz是為滿足半導(dǎo)體行業(yè)的苛刻清潔要求而設(shè)計(jì)

的解決方案。

3)SEMI-KLEEN sapphire用于半導(dǎo)體行業(yè)的去污清潔,且支持耐

腐蝕性氣體等離子應(yīng)用。

 

儀器特點(diǎn):

• 快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。

不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

• 低等離子偏壓設(shè)計(jì)減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合自有多級(jí)

氣體過(guò)濾技術(shù),SEMI-KLEEN能夠滿足用戶的顆粒污染清除要求

• 可選藍(lán)寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應(yīng)用

• 的等離子強(qiáng)度傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài),用戶對(duì)等離子狀態(tài)一目了然

• 基于壓力傳感回饋控制的自動(dòng)電子流量控制器,無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥

• 直觀的觸摸屏操作,可定義60條清洗程序方案

• 擁有智能安全操作模式和專家控制模式;SmartScheduleTM定時(shí)裝置,通過(guò)檢測(cè)樣品裝載次數(shù)或時(shí)間間隔來(lái)定時(shí)清潔系統(tǒng)

• 低電磁干擾設(shè)計(jì),安靜的待機(jī)模式

 

推薦應(yīng)用:

•  FE-SEM、FIB和TEM的原位樣品清潔

•  適用于半導(dǎo)體設(shè)備,如CD-SEM, EBR, EBI, EUVL等

•  高真空室清潔,去除碳?xì)浠衔锖头嘉廴疚?/font>

•  減少特高真空(EHV)和特高真空(UHV)泵的停機(jī)時(shí)間

•  適用于XPS、SIMS、AES和原子探針的腔室和樣品清潔

•  適用于ALD和其它半導(dǎo)體加工設(shè)備的腔室和樣品清潔

PIE Scientific研發(fā)的SmartClean™ 技術(shù)結(jié)合了核研究

和半導(dǎo)體行業(yè)的等離子體放電技術(shù)。EM-KLEEN

和SEMI-KLEEN等離子清潔儀比前幾代等離子體清潔儀

得多。我們的等離子清潔儀可以在任何技術(shù)指標(biāo)上

更勝;此外,許多的功能只是在我們的儀器

產(chǎn)品上才擁有。

 

我們還提供其它系列樣品清潔、樣品桿清潔及存儲(chǔ)等應(yīng)

用的儀器,如您需要,請(qǐng)參考Tergeo系列、

Multipurpose Chamber和TEM holder storage。

 

 

 

關(guān)鍵詞:流量控制器 觸摸屏
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