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Tergeo/Tergeo-Plus/Tergeo-EM 美國PIE_Tergeo等離子清潔儀

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  • 型號(hào)Tergeo/Tergeo-Plus/T
  • 品牌
  • 所在地南京市
  • 更新時(shí)間2025-08-26
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)江蘇
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值3966
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南京覃思科技有限公司是由原南京江南光學(xué)儀器廠光電儀器專家出資設(shè)立的一家從事光學(xué)、電子儀器銷售與服務(wù)的專業(yè)公司。公司經(jīng)營范圍主要為:光學(xué)儀器;光電測(cè)量?jī)x器;電子儀器;與儀器配套的計(jì)算機(jī)軟硬件的銷售、研發(fā)以及技術(shù)服務(wù)。公司具有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),擁有良好的客戶資源和技術(shù)能力,所銷售的儀器質(zhì)量和服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
代理銷售的產(chǎn)品為:“美國OGP”三坐標(biāo)測(cè)量顯微鏡;“韓國MIRERO”掃描電子顯微鏡AIS2100(掃描電鏡SEM);Delong USA Inc低壓桌上型透射電鏡LVEM5(LVTEM超小型臺(tái)式透射電鏡);“美國熱電NORAN”X-RAY能譜儀;“英國EMITECH”電鏡制樣設(shè)備;“日本尼康(NIKON)”生物顯微鏡;“美國Maxwell”冷光儀(BL/CL法摩爾濃度儀、生物發(fā)光儀、化學(xué)發(fā)光檢測(cè)儀);“德國萊卡(LEICA)”金相顯微鏡、其它工業(yè)顯微鏡;“日本拓普康(TOPCON)”色彩輝度計(jì)BM-7等系列、分光輻射度計(jì)SR-3;“英國雷尼紹(RENISHAW)”激光干涉儀、球桿儀;國產(chǎn)“江南牌(JN)”各類顯微鏡;“貴陽新天”萬工顯、投影儀、測(cè)長(zhǎng)儀;以及與儀器配套的顯微圖象處理分析軟件系統(tǒng)(含各種進(jìn)口、國產(chǎn)CCD攝像頭)DT-2000等,本公司是韓國MIRERO株式會(huì)社*的掃描電子顯微鏡(掃描電鏡SEM)中國總代理,同時(shí)還是“英國EMITECH”電鏡制樣設(shè)備、韓國SurfaceTech界表面張力\接觸角測(cè)量?jī)x中國總代理以及Delong USA Inc桌上型低壓透射電鏡LVEM5中國大陸代理商。本公司還承接各種顯微鏡的數(shù)字化改造。技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
本公司一向堅(jiān)持以“誠信經(jīng)營、誠實(shí)服務(wù)”為立業(yè)宗旨,奉行“精研覃思、無微不至”的企業(yè)文化,公司將以更優(yōu)秀的科技產(chǎn)品及服務(wù)回報(bào)社會(huì),愿與社會(huì)各界竭誠合作,共同發(fā)展。
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Tergeo系列臺(tái)式全自動(dòng)等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能,可用來清潔納米級(jí)樣品,去除光刻膠,清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤,進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化,激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團(tuán),獲得表面親水性,提高鍵合強(qiáng)度和可印刷性,促進(jìn)生物相容性??杉山胧胶瓦h(yuǎn)程式兩種等離子源,既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿,也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品。
美國PIE_Tergeo等離子清潔儀 產(chǎn)品詳情

Tergeo系列臺(tái)式等離子清潔儀

 

Tergeo系列臺(tái)式全自動(dòng)等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能,可用來清潔納米級(jí)樣品,去除光刻膠,清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤,進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化,激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團(tuán),獲得表面親水性,提高鍵合強(qiáng)度和可印刷性,促進(jìn)生物相容性??杉山胧胶瓦h(yuǎn)程式兩種等離子源,既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿,也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品。

 

Tergeo系列具有三種型號(hào):

1)Tergeo 等離子清潔儀:這是一款經(jīng)濟(jì)實(shí)用的等離子清潔儀。

2)Tergeo-Plus大腔室等離子清潔儀:這是一款具有大樣品室的等離子清潔儀,可清潔寬達(dá)150mm的樣品。

3)Tergeo-EM等離子清潔儀:用于TEM樣品桿清潔以及去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴尽?/font>

儀器特點(diǎn):

• Tergeo系列是能在一個(gè)系統(tǒng)中支持兩種清潔模式的等離子清潔儀。

Tergeo-EM標(biāo)配雙等離子源、并且具有清潔TEM樣品桿的功能;其余兩款

標(biāo)配浸入式等離子源,用于樣品表面清潔、蝕刻、灰化,可選遠(yuǎn)程式等離

子源用于溫和的污染清除及脆弱易損樣品的表面活化。

• 采用離子體強(qiáng)度傳感器技術(shù),實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)定量測(cè)量等離子強(qiáng)度

• 13.56MHz射頻發(fā)生器,自動(dòng)阻抗匹配調(diào)諧,雙源版本可脈沖工作

• 直觀的觸摸屏用戶界面,可儲(chǔ)存20條用戶程序,全自動(dòng)運(yùn)行

• 采用MFC(質(zhì)量流量控制器)調(diào)節(jié)的氣體輸送控制

• 高純石英樣品腔室和樣品托

推薦應(yīng)用:

• 集成電路芯片引線鍵合和封裝前的清潔

• 清潔TEM和SEM樣品,去除烴污染

• 親水性或疏水表面潤濕性等離子處理

• 增強(qiáng)環(huán)氧樹脂/膠水粘合強(qiáng)度

• 用于清潔光學(xué)、激光、通訊用玻璃和光纖頭

• 改善MEMS微流體器件的潤濕性

• 蝕刻光刻膠

• 剝除被膜,用于失效分析

• 隱形眼鏡、植入物等類型的表面處理和激活

實(shí)驗(yàn)結(jié)果的一致性和可重復(fù)性對(duì)于科研和生產(chǎn)運(yùn)行是至關(guān)重要的。因此,

我們集成了多種過程控制技術(shù)來監(jiān)測(cè)和控制關(guān)鍵參數(shù),如等離子體傳感

器、壓力傳感器和氣體輸入的自動(dòng)質(zhì)量流量控制器。Tergeo等離子清洗

機(jī)的操作是全自動(dòng)的。直觀的用戶界面,加上7英寸的觸摸屏,使本系

列儀器的操作像智能板一樣簡(jiǎn)單。嵌入微控制器支持20個(gè)可定制的配方

程序。Tergeo系列等離子體處理系統(tǒng)采用的工藝控制技術(shù),可為不

同用戶提供重復(fù)的日常運(yùn)行性能。

Tergeo系列臺(tái)式等離子蝕刻和表面清潔系統(tǒng)可用于研究、開發(fā)等應(yīng)用。TEM用戶,請(qǐng)選用我們的Tergeo-EM具有清潔TEM樣品桿功能的等離子清潔儀;TEM和SEM及其它用戶也可查看EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔系統(tǒng)。對(duì)于樣品桿儲(chǔ)存等應(yīng)用,可選用多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室。

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