Verios XHR SEM

 

Verios 是 FEI 的 XHR（高分辨率）SEM 系列的第二代產品。在半導體制造和材料科學應用中，它可在 1 至 30 kV 范圍內提供亞納米量級分辨率以及增強的對比度，滿足材料精密測量所需，同時又不會削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢。

 

Verios 的材料科學應用

 

對材料科學家來說，Verios 可以將亞納米表征拓展到當下正在開發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結構），從而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無需轉而采用 TEM 或其他成像技術便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活用于各類研究應用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣本之類的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開展精確的原型設計應用，例如電子束感應式材料直接沉積或光刻。

 

出色的低電壓 SEM 分辨率和材料對比度

 

Verios 旨在增加您實驗室的可發(fā)表成果。Verios 可以將 500 eV 到 30 keV 完整能量范圍內的亞納米級分辨率擴展到新型材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結構）。無需轉而采用 TEM 或其他成像技術便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活運用于各類研究應用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣品之類的大樣品。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開展精確的原型設計應用，例如電子束感應式材料直接沉積或光刻。

 

探索高分辨率 SEM 呈現(xiàn)的世界 

Verios 是 FEI 的 XHR SEM 系列的第二代產品，通過 1 到 30 kV 能量范圍的亞納米級分辨率來提供準確成像。它能夠在多種應用領域內提供精確測量材料所需的出色對比度，而不影響高通量、分析功能、樣品靈活性和傳統(tǒng) SEM 的易用性。Verios 具備技術，例如可提高熱穩(wěn)定性的恒功率鏡頭以及可提高偏轉線性的靜電掃描。在選擇參數(shù)、處理大樣品或支持更多應用（如分析或光刻）方面，它非常靈活。借助 Verios XHR SEM，無論是臨時用戶還是專家，都能在短時間內獲得準確、完整的納米量級數(shù)據(jù)，發(fā)現(xiàn)以前使用其他技術時無法獲得的信息。