一、產(chǎn)品描述
MFLGQ-2Z是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時。各通道氣路配單獨的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示，便與操控。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。。
二、產(chǎn)品特點
1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
技術(shù)參數(shù)：
| 性能 | 氣路通道 | 2路 （可做3 4 5 路供氣） |
| 氣路流量控制 | 質(zhì)子流量控制器（七星流量計） | |
| 控制精度 | ±1.5%F.S | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
| 流量范圍 | 1-500 SCCM | |
| 機械壓力表 | 一塊機械壓力表在面板，和混氣灌連接 | |
| 量程：-0.1～0.15 Mpa | ||
| 規(guī)格 | 外形尺寸 | 參考尺寸600*700*750mm（深*寬*高) |
| 重量 | 40KG |
一、售后服務(wù)
：一年保修，終身技術(shù)支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)）
二、注意事項
·嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應(yīng)關(guān)閉閥門。
·流量計通道采用的材料為∶00Cr17面il4Mo2（相當(dāng)于316L不銹鋼），通入的氣體應(yīng)無水汽、低泄漏、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時聲明。
·不得通氯化物、硫化物、等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。
·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02-0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等）
·氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動作要輕緩。.氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。
·嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。
·每只氣瓶必須保留0.5 MPa的余壓。
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