產(chǎn)品概述

LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測量數(shù)據(jù)。 與Smart Lens Advisor（智能鏡頭顧問）配合使用，可以獲得值得信賴的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。

• 有保證的測量準(zhǔn)確度

• 10倍至100倍物鏡可減少405 nm波長的像差，在整個視場中捕捉樣品的真實(shí)形貌。

• Smart Lens Advisor（智能鏡頭顧問）有助于為粗糙度測量選擇合適的物鏡

通過精心設(shè)計的軟件，新手和有經(jīng)驗的用戶都可以輕松使用顯微鏡。

• 輕松獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)：將樣品放在載物臺上，然后按下“開始”按鈕即可

• 在客戶的實(shí)驗環(huán)境下也能提供有保證的測試結(jié)果。

智能實(shí)驗管理器可將以前耗時的任務(wù)自動化，使亞微米級3D觀察和失效分析實(shí)驗工作流程變得更加簡單。

• 利用宏功能實(shí)現(xiàn)分析工作流程的自動化

• 測量數(shù)據(jù)易于整理

• 將數(shù)據(jù)自動填充到實(shí)驗計劃矩陣中，減少了輸入錯誤的幾率

• 測量結(jié)果以列表形式顯示，一眼就能做出通過/不通過的判斷。

優(yōu)勢特性

• 智能掃描II

無論是經(jīng)驗豐富的用戶還是新手，都能使用Smart Scan II（智能掃描II）功能快速輕松地獲取數(shù)據(jù)。只需將樣品放在載物臺上，按下啟動按鈕即可，剩下的工作就由顯微鏡完成。

• PEAK算法：OLS5100顯微鏡采用PEAK算法構(gòu)建3D數(shù)據(jù)。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時間。

• 跳過不必要的掃描：在測量包含幾乎垂直平面的樣品（如電子元件或MEMS）的臺階形貌時，可以通過跳過Z軸方向上不必要的掃描范圍來減少數(shù)據(jù)采集時間。使用MPLAPON50XLEXT物鏡時，約10秒鐘就可完成對100 μm臺階的測量，且準(zhǔn)確度不會降低。

• 準(zhǔn)確的形貌數(shù)據(jù)：OLS5100顯微鏡的自動判斷系統(tǒng)可根據(jù)每個樣品的要求進(jìn)行調(diào)整，而HDR掃描則可通過改變探測靈敏度來獲取兩組形貌信息，以構(gòu)建準(zhǔn)確的形貌數(shù)據(jù)。

• 準(zhǔn)確度和可重復(fù)性均有保證

測量工具的性能通常用準(zhǔn)確度和可重復(fù)性來表示，準(zhǔn)確度表明測量值與真實(shí)值的接近程度，可重復(fù)性表明重復(fù)測量值的變化程度。我們保證顯微鏡基于可追溯系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性，讓您對測量結(jié)果充滿信心。

• 視場之外的表面測量

OLS5100顯微鏡的電動載物臺上裝有長度測量模塊，可以保證拼接圖像數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。以前的激光顯微鏡根據(jù)圖案匹配拼接數(shù)據(jù)，而OLS5100顯微鏡將從長度測量模塊獲得的位置信息添加到圖案匹配中，以提供具有很高可靠性的拼接數(shù)據(jù)，并保證準(zhǔn)確度。

• 連續(xù)自動對焦

在移動載物臺或更換物鏡時，顯微鏡的連續(xù)自動對焦功能可保持圖像的對焦?fàn)顟B(tài)，大幅減少了手動調(diào)整的需要。持續(xù)焦點(diǎn)跟蹤功能可使您快速輕松地進(jìn)行觀察。

• 用于納米級實(shí)時觀察的雙重微分干涉（DIC）

通過實(shí)時的納米級觀察，檢測樣品中的微小損傷。微分干涉（DIC）觀察可使您觀測到激光顯微鏡通常無法分辨的納米級表面輪廓。借助DIC激光模式，就是使用5倍或10倍的低倍率物鏡，OLS5100顯微鏡也可以獲得與電子顯微鏡相當(dāng)?shù)膶?shí)時圖像。

• 符合ISO25178標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度測量

OLS5100顯微鏡使用0.4μm直徑的激光束掃描樣品表面，能夠輕松測量接觸式表面粗糙度儀無法測量的樣品表面粗糙度。 同時還可以獲取接觸式表面粗糙度儀無法獲得的表面彩色圖像、激光圖像和3D形貌數(shù)據(jù)，使得更多分析功能得以實(shí)現(xiàn)。

• 輪廓測量/測量輔助工具

輪廓測量功能通過在圖像中的待測位置上任意繪制測量線的方式顯示表面輪廓。它還可以測量任意兩個點(diǎn)之間的距離、寬度、橫截面積和半徑。與接觸式測量工具不同，這種測量位置的設(shè)置非常簡單。 可以在圖像上標(biāo)記測量線和測量點(diǎn)，因此即使是非常小的位點(diǎn)也能準(zhǔn)確測量。有了測量輔助工具，就可以使用極值點(diǎn)、中間值點(diǎn)和/或平均值點(diǎn)準(zhǔn)確指定待測點(diǎn)。在所獲取的數(shù)據(jù)中指定了一個位點(diǎn)時，可根據(jù)指定條件自動提取特征點(diǎn)。