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公司介紹主營產(chǎn)品

上海富萊光學科技有限公司，主要銷售日本奧林巴斯系列顯微鏡，公司經(jīng)過多年發(fā)展，擁有自己品牌系列的顯微鏡，如金相顯微鏡，微分干涉顯微鏡等，其中微分干涉顯微鏡多用于電子行業(yè)觀察導電粒子。兼營尼康等其他品牌顯微鏡。公司有專業(yè)工程師為您解決售前及售后問題。
另外公司有專業(yè)顯微鏡維修工程師，專業(yè)維修尼康系列顯微鏡，維修尼康V12B投影機，維修MF501高度計，維修尼康MM工具顯微鏡等。
上海富萊光學科技有限公司
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產(chǎn)品簡介在線詢價

AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查

自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 產(chǎn)品詳情

AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

人機工程學設(shè)計，操作方便

可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。

分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。

堅固、可靠和安全傳送

延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。

薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。

宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。

自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規(guī)格
	AL120-LMB12-LP3	AL120-LMB12-F
晶圓尺寸	300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm
卡盒	●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開門標準夾 ●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB, FOSB	●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開門搬運盒 ●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù)	單盒（裝載、卸載兼用）
卡盒設(shè)置高度	900 mm
裝載端口	有	無
搬運順序	表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式	全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準	非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運方式	真空吸附機械搬運
適用顯微鏡	半導體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa 壓縮空氣0.5MPa～0.6MPa	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa
載物臺	XY手動吸附載物臺，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
重量（不包括顯微鏡）	約360 kg	約270 kg

關(guān)鍵詞：標準顯微鏡

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