上下加熱平臺和真空腔體

上下加熱平臺都安裝在真空腔體內(nèi)，上下加熱平臺尺寸：300*300mm

上下加熱板平面度<0.02mm（在有效面積 300mm*300mm 范圍內(nèi)）

真空腔體采用 304 不銹鋼制作，并焊接有加強筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形）， 真空度可以達到 10 ^-1Pa。

可放入樣品最大尺寸：300mm*300mm*70mm

一個數(shù)顯真空計

腔體設(shè)有一個φ6.35 的卡套接頭作為進氣口使用，并通過一個電磁閥控制進氣 的通斷

腔體側(cè)面有一個φ8mm 寶塔氣嘴的出氣口，通過一個電磁閥控制出氣的通斷

腔體側(cè)面有一個 KF25 的抽真空接口，方便客戶匹配各種型號的真空系統(tǒng)

溫控系統(tǒng)

兩個精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置 18 段升降溫程序，控溫精度為±1℃，500 度恒溫 時的溫度波動±5℃，分別獨立控制兩個加熱平臺。

溫控系統(tǒng)采用 PID 方式進行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護。

最高工作溫度為：500℃（＜30min）

壓力控制系統(tǒng)

最大壓力：30T

加壓方式：電動加壓

壓力精度:0.01 噸

油缸直徑為 Φ80 mm；

油缸行程為 0-70 mm；

真空泵

抽氣速率：8(2.2)m3/h(L/S)

極限壓力：氣鎮(zhèn)關(guān) 5*10 -2Pa 氣鎮(zhèn)開 10Pa

功率：0.37kw

所需油量：0.6~1.0L

進出氣口：KF25

外形尺寸

580*680*120mm

重量

約 580Kg

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護

特別提示：耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內(nèi)因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)