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上海納騰儀器有限公司是一家專(zhuān)注于為微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為

全國(guó)各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供*的微納米科學(xué)儀器。

目前上海納騰已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專(zhuān)業(yè)提供微納米科學(xué)儀器的企業(yè)，在微納加工儀器，微納表征儀器，微納儀器耗材，微納加工測(cè)試等相關(guān)領(lǐng)域，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售中、售后的服務(wù)。

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離子束刻蝕/沉積系統(tǒng)

離子束刻蝕/沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

EIS-200是Elionix推出的一款基于電子回旋共振技術(shù)（ECR）的小型離子束蝕刻系統(tǒng)，特別適合于科研用離子束刻蝕、減薄，清洗、沉積等。

EIS-200原理：

利用ECR技術(shù)產(chǎn)生高能Ar+離子束，Ar+離子束通過(guò)電場(chǎng)加速到達(dá)樣品表面，對(duì)樣品進(jìn)行物理的轟擊達(dá)到刻蝕作用。

EIS-200具有以下優(yōu)點(diǎn)：

? 方向性好，各向異性，陡直度高，側(cè)向刻蝕少

? 分辨率高

? 不受刻蝕材料限制，可對(duì)石英等材料進(jìn)行蝕刻

? 可控制蝕刻Taper角

? 可以設(shè)定多樣的實(shí)驗(yàn)條件

? NPD(納米圖案成膜單元)選項(xiàng)（如下圖）

主要功能

納米級(jí)圖案刻蝕

高深寬比蝕刻

離子束沉積

表面清潔

離子減薄

技術(shù)能力

應(yīng)用

納米級(jí)圖案刻蝕、高深寬比蝕刻、表面清潔、離子減薄等

? SiO2 on Si substrate

? Diamond Substrate（金剛石）

? Quartz (Mask)

? Oriented PET film

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
電子束實(shí)驗(yàn)儀	面議	濟(jì)寧市	山東利達(dá)信儀器儀表設(shè)備有限公司	2021-03-10	在線詢價(jià)
刻蝕設(shè)備PlasmaPro1000 Astrea 電子束刻蝕系統(tǒng)	面議	嘉興市	上海繪吉電子科技有限公司	2026-03-17	在線詢價(jià)
Leica EM ACE900 冷凍斷裂系統(tǒng) 電子束刻蝕系統(tǒng)	面議	廣州市	廣州領(lǐng)拓貿(mào)易有限公司	2022-09-29	在線詢價(jià)
Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 電子束刻蝕系統(tǒng)	￥13	上海	上海伯東企業(yè)有限公司	2022-09-29	在線詢價(jià)
Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 電子束刻蝕系統(tǒng)	￥13	上海	上海伯東企業(yè)有限公司	2022-09-29	在線詢價(jià)
Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-C 電子束刻蝕系統(tǒng)	￥13	上海	上海伯東企業(yè)有限公司	2022-09-29	在線詢價(jià)

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