JPE VMS 外螺紋內(nèi)牙直通接頭作為半導體超高純接頭系統(tǒng)中的直通連接組件，采用 JPE 的金屬墊片面密封（VMS）技術(shù)。

在半導體超高純接頭應用中，密封性能、顆?？刂婆c材料純凈度是衡量產(chǎn)品價值的核心標準。

JPE VMS 外螺紋內(nèi)牙直通接頭通過精密加工的 SS316L 本體與金屬墊片形成無污染物截留的金屬對金屬密封結(jié)構(gòu)，從根本上消除了彈性體密封件可能帶來的微量釋氣與顆粒污染風險。

這是現(xiàn)代半導體先進制程中對超高純度氣體（UHP）和化學品輸送系統(tǒng)的底線要求，也是本產(chǎn)品區(qū)別于傳統(tǒng)卡套或O型圈密封接頭的根本價值所在。

對于同樣要求嚴苛的生物制藥、精密分析儀器等領(lǐng)域，本產(chǎn)品憑借與之相同的潔凈度與無泄漏特性，可在真空負壓至正壓范圍內(nèi)提供長期穩(wěn)定的無泄漏服務(wù)，是確保關(guān)鍵介質(zhì)從源頭到工藝腔體“全程純凈”的重要保障

VMS密封技術(shù)詳解

VMS 全稱為 Vacuum Metal Seal，是一種由多個精密加工零件組裝而成的金屬墊片面密封結(jié)構(gòu)。其工作原理為：在外螺紋螺母或接頭本體與內(nèi)螺紋螺母接合的過程中，金屬墊片被兩側(cè)的精密凸緣壓緊，從而完成全金屬界面的密封

以下是本產(chǎn)品作為半導體超高純接頭的關(guān)鍵技術(shù)指標

1.表面處理精度： 接管及接頭本體均經(jīng)過精密表面處理，標準拋光粗糙度 Ra ≤ 0.25μm。在半導體超高純接頭應用中，這一“鏡面級”表面處理工藝可有效防止顆粒物在管壁的粘附與積聚，是確保 6N 乃至 9N（99.9999999%）級超高純度氣體傳輸純度的核心工藝之一。

2.氦氣泄漏率： 出廠前已完成氦氣泄漏測試。使用鍍銀墊片時最大泄漏率為 4.1 × 10?? mbar·L/s；使用無鍍銀墊片時更為嚴苛，最大泄漏率可達 4.1 × 10?11 mbar·L/s。

3.可追溯性管理： 接頭本體標記了制造商、材料牌號及制程追溯號碼，滿足半導體等高精尖行業(yè)對質(zhì)量全流程追溯的行業(yè)標準要求。

應用場景與系統(tǒng)集成

半導體超高純接頭系統(tǒng)集成

本產(chǎn)品的 VMS 金屬面密封設(shè)計，使其成為半導體特氣輸送系統(tǒng)（Gas Delivery System）中閥門與管道之間的理想過渡連接件。相比傳統(tǒng)的卡套接頭或VCR接頭，VMS結(jié)構(gòu)在組裝便利性與泄漏管控之間取得了均衡優(yōu)化，尤其適用于空間緊湊、對密封完整性高要求的超高純（UHP）工藝氣體分配模塊。

特氣柜與氣源分配器連接

緊湊尺寸使其特別適用于半導體工廠特氣柜（Gas Cabinet）、氣源分配器及閥門箱內(nèi)部的高密度管路布局。其一端為 VMS 外螺紋，另一端為 NPT 內(nèi)螺紋，能夠靈活銜接不同類型的下游設(shè)備接口，是氣路系統(tǒng)中實現(xiàn)異構(gòu)連接的標準解決方案之一。

生物制藥高純流體傳送

憑借 SS316L 材質(zhì)良好的生物相容性與耐腐蝕性，以及金屬面密封的特性，本產(chǎn)品同樣可應用于生物反應器、細胞培養(yǎng)設(shè)備等對無菌性和流體純凈度要求同樣嚴苛的生物制藥高純流體傳送系統(tǒng)。

腐蝕性與工藝氣體管路

對于含鹵素（Cl?、F?）、強腐蝕性（HCl、HF）及易燃易爆（SiH?、PH?）等有毒特種氣體，彈性體密封件面臨快速失效甚至引發(fā)安全事故的風險。本產(chǎn)品由 SS316L 本體與金屬墊片構(gòu)成的超高純金屬密封面，能夠長期耐受化學腐蝕與高壓沖擊，從根本上消除密封失效隱患。

詳細尺寸信息如下：

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