江蘇朗高精密儀器有限公司

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公司座機(jī)：0517－

概要
品牌朗高找熱式氣體質(zhì)量流量好品牌高穩(wěn)定性的質(zhì)量流量計－氣體流量控制不受上下端壓力變化的影響。不同壓力感測，采用壓力鈍感模式。

特征
市場上采用不同壓力感測即鈍感模式
縮小氣體柜的體積（不需要壓力傳感器，調(diào)壓閥和過濾器）
流量控制量程范圍廠
精度高
增加產(chǎn)能－可以提供標(biāo)準(zhǔn)流量給半導(dǎo)體制程。
品牌朗高找熱式氣體質(zhì)量流量好品牌規(guī)格
全面范圍（N2）：10 / 20 / 30 / 40sccm 50sccm ~ 10slm
操作入口壓力：14kPa（g）~350kPa（g） 250kPa（g）~ 350kPa（g）
出口壓力范圍：≤13.3kPa（a）、≤53.3kPa（a）
數(shù)字模式精度（按半標(biāo)準(zhǔn)E56-1296）：正負(fù)百分之零點(diǎn)零五到正負(fù)百分之零點(diǎn)三五
數(shù)字模式下的控制范圍：≥百分之零點(diǎn)五
閥門類型（PIEZO）：正常關(guān)閉
線性：正負(fù)百分之零點(diǎn)五的FS
可重復(fù)性：正負(fù)百分之零點(diǎn)三的SP、正負(fù)百分之零點(diǎn)零三的FS
響應(yīng)時間：800msec
證明壓力：500kPa（g）
泄漏完整性 lt;5×10-12 Pa?m3/s （He）
防潮材質(zhì)：SUS-316L，鉻鎳鐵合金
工作溫度：15~45℃
流量設(shè)定信號：0 ~ 5VDC或RS485 F-NET協(xié)議
流量輸出信號：0 ~ 5VDC或RS485 F-NET協(xié)議
電力需求：± 15V ± 百分之五5，150 mA
配件：1.125英寸，寬1/4VCR
D214
全面范圍（N2）：10 / 20 / 30 / 40sccm 50sccm ~ 10slm
操作入口壓力：14kPa（g）~350kPa（g） 250kPa（g）~ 350kPa（g）
出口壓力范圍：≤13.3kPa（a）、≤53.3kPa（a）
數(shù)字模式精度（按半標(biāo)準(zhǔn)E56-1296）：正負(fù)百分之零點(diǎn)零五到正負(fù)百分之零點(diǎn)三五
數(shù)字模式下的控制范圍：≥百分之零點(diǎn)五
閥門類型（PIEZO）：正常關(guān)閉
線性：正負(fù)百分之零點(diǎn)五的FS
可重復(fù)性：正負(fù)百分之零點(diǎn)三的SP、正負(fù)百分之零點(diǎn)零三的FS
響應(yīng)時間：800msec
證明壓力：500kPa（g）
泄漏完整性 lt;5×10-12 Pa?m3/s （He）
防潮材質(zhì)：SUS-316L，鉻鎳鐵合金
工作溫度：15~45℃
流量設(shè)定信號：設(shè)備網(wǎng)
流量輸出信號：設(shè)備網(wǎng)
電力需求：11~25VDC，4VA
配件：1.125英寸，寬1/4VCR