最重要的特性:
u 具有非凡分辨率的單極60度角物鏡;
u Field Free模式用于磁性樣品的觀察;
u 高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像;
u 鏡筒中的In-Beam二次電子探測器用于小工作距離條件下二次電子的檢測;
u In-Beam背散射電子探測器用于小工作距離的背散射電子成像;
u 高通量大面積自動化,例如自動顆粒分布和分析;
u 計算機優(yōu)化、馬達驅(qū)動的樣品臺;
u 利于EDX、EBSD分析的理想幾何設計;
u 的軟件用于SEM控制,圖像采集、存檔、處理和分析;多用戶多語言操作界面;
u 網(wǎng)絡操作和內(nèi)置的遠程控制/診斷是TESCAN的標準配置;
u 獨特的3維電子束技術(shù)用于獲得實時立體圖像。
MAIA3 配置
MAIA3 XMH
大樣品室高真空式電鏡,配備有可選的馬達驅(qū)動樣品臺,適合觀測導電的樣品。
MAIA3 XMU
可變真空式SEM,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品,不需要噴金。




































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