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SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器

參考價訂貨量

¥5000

≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2026-06-15
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第1年
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量109
  • 人氣值18118
產(chǎn)品標(biāo)簽

SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器

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SFM5400是基于SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器的無閥流量計。它具有與MFC對應(yīng)產(chǎn)品相同的性能優(yōu)勢和配置,但不提供控制器功能。
SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器 產(chǎn)品詳情
  1.簡介
  SFM5400是基于SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器的無閥流量計。它具有與MFC對應(yīng)產(chǎn)品相同的性能優(yōu)勢和配置,但不提供控制器功能。
  2.工作原理
  基于CMOSens®的SFC5400 / SFM5400通過基于熱傳遞的量熱法(calorimetric)原理測量氣體質(zhì)量流量。加熱元件位于熱絕緣薄膜上,上游和下游分別集成一組熱電堆(thermopiles) ,共兩組,全部集成在單個硅芯片上。在氣體流動時,上游和下游的溫度分布會被擾動。然后測量這種不對稱性。測量區(qū)域以及A/D轉(zhuǎn)換器和進一步的信號處理基于使用CMOS標(biāo)準(zhǔn)工藝的單個芯片
  基于MEMS的CMOSens技術(shù)實現(xiàn)了比傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器中的旁路毛細(xì)管直徑(0.1至0.5 mm )更大的氣體通道截面(約1.5×1 mm2 )。這種通道設(shè)計使設(shè)備對顆粒、堵塞和潮濕氣體更加穩(wěn)健。由于緊湊的單芯片設(shè)計及其安裝在金屬部件之間,基于CMOSens®的傳感器對電磁干擾(EMC)具有很強的抗干擾能力。
  薄膜極小的熱質(zhì)量造就了3-4毫秒的超快傳感器響應(yīng)時間。由于放大、A/D轉(zhuǎn)換、數(shù)字線性化和溫度補償?shù)恼麄€設(shè)計與該傳感器速度相匹配 ,因此可以每毫秒提供一個補償?shù)牧髁繙y量值。結(jié)合運行在板載微處理器上的先進控制算法,SFC5400與傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器相比提供了大幅縮短的穩(wěn)定時間
  此外,兩個溫度傳感器的特殊布置、片上溫
  度補償以及噪聲源的最小化,帶來了在大動態(tài)范圍內(nèi)重復(fù)性和精度方面性能
 。得益于其的設(shè)計, SFC5400 / SFM5400質(zhì)量流量控制器/流量計表現(xiàn)出零漂移性能,
   無論環(huán)境溫度和壓力如何變化,都能精確控制/測量真實的質(zhì)量流量。
 CMoSens®SFC5400 /SFM5400質(zhì)量流量控制器/流量計性能

表l : CMOSens ®SFC5400 / SFM5400質(zhì)量流量控制器/流量計規(guī)格概

所有數(shù)據(jù)(除非另有說明)適用于以下校準(zhǔn)條件:溫度 20oC,氮氣 (N2 ),水平安裝位置(電氣連接器在頂部),底部安裝連接,對于SFC5400為3.0 bar過壓(入口: 4.0 bar絕對壓力)對大氣(出口: l.0 bar絕對壓力),對于SFM5400為<0.2 bar過壓。

規(guī)格

數(shù)值

單位

滿量程流量

0.05, 0.l, 0.2, 0.5, l, 2, 5, l0

20, 50, l00

ln/min 或 slm

精度 l

以較大者為準(zhǔn)

0.8

l

% 設(shè)定點2

0.08

0. l

% 滿量程

重復(fù)性 以較大者為準(zhǔn)

0. l

0.2

% 設(shè)定點

0.0l

0.02

% 滿量程

典型穩(wěn)定時間 3

l00    (優(yōu)化版本為50) 4

ms

測量頻率

l000

Hz

控制范圍 5 / 測量范圍

優(yōu)于 l,000:l

標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)氣體

Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2

Air/N2, O2

氣體換算校準(zhǔn) 6

標(biāo)準(zhǔn): SF6     , C4F8

可按需提供其他氣體或混合物

(不兼容強反應(yīng)性/腐蝕性氣體,請參閱接液材料清單或聯(lián)系我們)

工作溫度(環(huán)境和氣體)

0 - 50 / 32 - l22

oC / oF

零點溫度系數(shù)

0.005

% 滿量程/ oC

量程溫度系數(shù)

0.06

% 設(shè)定點 / oC

滿流量時壓降SFC5400

SFM5400

< 2.0 / 29 < 0. l / l.5

< 3.0 / 43

< 0.2 / 3

bar / psig

最大入口壓力 7

l0 / l45

bar / psig

最大壓差8

5 / 73

4 / 58

bar / psig

外部泄漏率 (MFC)

9 x l0_9

9 x l0_6

mbar l/s He

關(guān)閉閥門泄漏率

l x l0_6

mbar l/s He

預(yù)熱時間 9

l

sec


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