SEMIFLOW® CO.65 | 非接觸式流量計

用于在硬質塑料管與管道上進行高精度流量測量

可靠的液體流量測量在半導體工藝管理中起著重要作用。SEMIFLOW CO.65 流量計可有效監(jiān)測濕法工藝，確保液體保持恒定流量，或在使用點（Point of Use）實現(xiàn)體積定量分配管理。通過實施準確且可靠的流量測量，晶圓廠（Fabs）能夠顯著提升工藝質量。

SEMIFLOW 傳感器是經(jīng)行業(yè)驗證的先進流量計，兼具堅固設計與創(chuàng)新夾裝式（Clamp-on）技術，可消除污染與泄漏風險，從而提高系統(tǒng)稼動率。由于其緊湊外殼內集成電子板與分析單元，流量計小至與單個換能器相當，易于集成到現(xiàn)有工藝鏈與系統(tǒng)架構中。

SEMIFLOW® CO.65外夾式超聲波流量計 測量原理

流量測量 | 超聲波時差法

SEMIFLOW 與 SONOFLOW 流量傳感器采用超聲波時差技術準確測定流量。傳感器測量超聲波沿液體流向與逆流向的傳播時間。兩路信號的時間差用于表征流體流速。體積流量由流體速度乘以管路橫截面積計算得到。

氣泡檢測 | 超聲波透射法

SONOCHECK ABD06 非接觸式氣泡傳感器通過動態(tài)振幅監(jiān)測檢測氣泡與堵塞。根據(jù)相鄰介質的聲阻抗不同，界面會發(fā)生反射與透射。當氣泡通過傳感器通道時，透射聲波信號幅值下降；幅值下降越大，氣泡尺寸越大。

SEMIFLOW® CO.65外夾式超聲波流量計

非接觸式流量測量

→ 通過管壁進行超聲測量

→ 非接觸式傳感器設計，消除污染與泄漏風險

→ 夾裝式上蓋與柔性襯墊，確保管道與換能器之間最佳耦合

緊湊的傳感器設計

→ 集成電子板與分析單元

→ 易于集成至現(xiàn)有可編程邏輯控制器（PLC）或泵系統(tǒng)

→ 多種傳感器尺寸，覆蓋廣泛管徑范圍最高耐化學性

→ 外殼材料：均聚聚丙烯（PP-H）；連接器材料：聚酰胺（PA）

→ 非接觸式傳感器設計，實現(xiàn)無磨損測量

→ 適用于危險環(huán)境

最高精度與重復性

→ 精度最高可達 ±1%（Of Reading，讀數(shù)值）

→ 實時流量測量與體積累計（Totalizing），最大流量可達 400 L / min

→ 可選：SONOTEC 軟件，用于傳感器操作與調節(jié)

詳細情況請下載pdf或聯(lián)系我們！