Sensirion氣體質量流量計

超快穩(wěn)定時間（低至50 ms）

優(yōu)秀的精度/重復性（分別為設定點的0.8%/0.1%）

寬控制范圍（1000:1）

多種接口可選：RS485、DeviceNet、IO-Link和模擬電壓/電流

多種接頭形式可選：底部安裝式、Swagelok、VCR、VCO、W-Seal

多氣體及氣體識別功能

可溯源至 NIST 的校準

MTBF 169年

優(yōu)秀的CMOSens®技術

SFx5400產品的核心是優(yōu)秀的Sensirion CMOSens技術。該技術將高精度傳感元件與先進的信號處理集成在單個芯片上，從而提供精確校準和溫度補償的信號（見圖1）。得益于這種傳感器技術，SFC5400在速度、精度和重復性方面具有優(yōu)秀的表現(xiàn)，同時系統(tǒng)成本也具有競爭力。由于SFx5400出色的長期穩(wěn)定性，無需重新校準。

SFC5400提供最快的穩(wěn)定時間、寬控制范圍以及機械接頭和通信接口方面的高靈活性。數字版本還提供可選的智能功能，如多氣體和量程、氣體識別和自檢功能。

SFM5400是基于SFC5400質量流量控制器的無閥流量計。它具有與MFC對應產品相同的性能優(yōu)勢和配置，但不提供控制器功能。

SFC5400 / SFM5400產品的出色性能使其成為眾多應用的選擇，例如分析儀器、鍍膜/刻蝕設備、醫(yī)療設備和過程自動化等。

Sensirion氣體質量流量計 工作原理介紹

基于CMOSens®的SFC5400 / SFM5400通過基于熱傳遞的量熱法（calorimetric）原理測量氣體質量流量。加熱元件位于熱絕緣薄膜上，上游和下游分別集成一組熱電堆（thermopiles），共兩組，全部集成在單個硅芯片上。在氣體流動時，上游和下游的溫度分布會被擾動。然后測量這種不對稱性。測量區(qū)域以及A/D轉換器和進一步的信號處理基于使用CMOS標準工藝的單個芯片（見圖2）。

基于MEMS的CMOSens技術實現(xiàn)了比傳統(tǒng)質量流量控制器中的旁路毛細管直徑（0.1至0.5 mm）更大的氣體通道截面（約1.5×1 mm²）。這種通道設計使設備對顆粒、堵塞和潮濕氣體更加穩(wěn)健。由于緊湊的單芯片設計及其安裝在金屬部件之間，基于CMOSens®的傳感器對電磁干擾（EMC）具有很強的抗干擾能力。

薄膜極小的熱質量造就了3-4毫秒的超快傳感器響應時間。由于放大、A/D轉換、數字線性化和溫度補償的整個設計與該傳感器速度相匹配，因此可以每毫秒提供一個補償的流量測量值。結合運行在板載微處理器上的先進控制算法，SFC5400與傳統(tǒng)質量流量控制器相比提供了大幅縮短的穩(wěn)定時間（見圖3）。

此外，兩個溫度傳感器的特殊布置、片上溫度補償以及噪聲源的最小化，帶來了在大動態(tài)范圍內重復性和精度方面的優(yōu)秀的性能。得益于其設計，SFC5400 / SFM5400質量流量控制器/流量計表現(xiàn)出零漂移性能，無論環(huán)境溫度和壓力如何變化，都能精確控制/測量真實的質量流量。
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