一、產(chǎn)品概述

本產(chǎn)品為GUQ-16(F)304不銹鋼氣動高真空法蘭球閥，采用304優(yōu)質(zhì)不銹鋼精密鑄造閥體，搭配齒輪齒條式氣動執(zhí)行機構(gòu)，以壓縮空氣為動力源驅(qū)動內(nèi)部球體做90°旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)真空管路的快速通斷控制。產(chǎn)品專為高真空工況設計，采用真空專用密封結(jié)構(gòu)，泄漏率極低，可穩(wěn)定維持系統(tǒng)高真空度，同時具備優(yōu)異的耐高溫性能，適用溫度可達250℃，適配各類高低溫真空工藝場景。

產(chǎn)品采用三片式分體結(jié)構(gòu)，安裝拆卸便捷，便于后期維護與密封件更換；不銹鋼閥體內(nèi)壁光潔、放氣量小、潔凈度高，可滿足半導體、光伏、真空熱處理等行業(yè)對真空管路的嚴苛要求，是高真空自動化管路系統(tǒng)的核心控制閥門。

二、型號編制與閥體標識說明

1.型號含義

本系列產(chǎn)品型號遵循真空閥門編制標準，以GUQ-16(F)304為例，各字符含義如下：

2.閥體標識說明

閥體與執(zhí)行器帶有清晰規(guī)格標識，各標識含義如下：

• 通徑標識：標注公稱通徑規(guī)格，如16、25，對應DN16、DN25或KF16、KF25真空接口標準。

• 材質(zhì)標識：標注304/CF8，代表閥體為304不銹鋼材質(zhì)。

• 執(zhí)行器標識：A、B為氣缸氣源接口，規(guī)格G1/4"，分別對應開關(guān)兩路氣路。

• 流向特性：真空球閥為雙向密封結(jié)構(gòu)，正負壓工況均可適配，無嚴格安裝流向限制。

三、工作原理與結(jié)構(gòu)特征

1.工作原理

閥門以潔凈壓縮空氣為動力源，通過氣動執(zhí)行器內(nèi)部齒輪齒條機構(gòu)，將氣缸直線運動轉(zhuǎn)化為閥桿旋轉(zhuǎn)運動，帶動高真空專用球體閥芯同步旋轉(zhuǎn)90°：

• 當球體內(nèi)流道與管路對齊時，閥門全開，氣流通暢，流阻極小，不影響系統(tǒng)抽真空效率。

• 當球體內(nèi)流道與管路垂直時，球面與真空專用密封座緊密貼合，閥門全關(guān)，阻斷氣流，維持系統(tǒng)真空度。

• 產(chǎn)品密封結(jié)構(gòu)針對真空工況優(yōu)化，可實現(xiàn)極低的泄漏率，保障系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定；同時支持正壓、負壓雙向工況，適配抽真空、充氣等多種工藝流程。

2.GUQ-16(F)304不銹鋼氣動高真空法蘭球閥核心結(jié)構(gòu)特征

（1）AT系列氣動執(zhí)行機構(gòu)

采用高強度鋁合金壓鑄氣缸，表面陽極氧化處理，防腐耐用；內(nèi)置高精度齒輪齒條傳動機構(gòu)，輸出扭矩穩(wěn)定，啟閉響應迅速，可快速完成真空管路的通斷切換。

標配頂部開度指示帽，直觀顯示閥門開關(guān)狀態(tài)；可配套真空專用電磁閥、限位開關(guān)、定位器等附件，實現(xiàn)遠程自動化控制，適配真空系統(tǒng)自控需求。

（2）三片式304不銹鋼閥體

閥體采用304優(yōu)質(zhì)不銹鋼精密鑄造，內(nèi)壁經(jīng)過精密拋光處理，表面光潔度高，放氣量小，不易積存雜質(zhì)，滿足高真空系統(tǒng)的潔凈度要求。

采用三片式分體結(jié)構(gòu)，通過多組螺栓緊固，密封可靠；維護時可直接拆解中體，無需拆除兩端管路，即可檢修更換內(nèi)部密封組件，大幅降低真空系統(tǒng)的維護難度與停機時間。

（3）高真空專用密封副

密封件采用真空專用耐高溫材質(zhì)，具備低放氣、耐溫高、彈性好的特點，適配高真空與高溫工況，適用溫度250℃。

密封面經(jīng)過精密研磨配對，貼合精度，額定泄漏率可達1.3×10??Pa?L/S，可穩(wěn)定維持高真空環(huán)境；采用浮動密封結(jié)構(gòu)，壓力/真空度越高，密封貼合越緊密，雙向密封性能優(yōu)異。

（4）高精度真空球體閥芯

閥芯采用同材質(zhì)不銹鋼實心球體，球面經(jīng)過超精密研磨拋光，表面光潔度高，啟閉摩擦小，磨損量低，使用壽命長。

球體與閥桿采用防脫結(jié)構(gòu)連接，傳動可靠，避免真空負壓沖擊導致閥芯移位、脫落，保障運行安全性。

（5）標準真空連接接口

連接端采用真空行業(yè)標準法蘭結(jié)構(gòu)（活套法蘭/KF法蘭），尺寸符合真空行業(yè)通用標準，互換性強；配合專用真空密封圈使用，連接密封可靠，安裝拆卸便捷，可直接對接標準真空管路與設備。

四、主要技術(shù)參數(shù)

五、安裝與調(diào)試

1.安裝前檢查

• 核對閥門通徑、連接規(guī)格、材質(zhì)、密封等級與真空系統(tǒng)設計要求是否一致。

• 檢查閥體、密封面有無磕碰、劃痕、雜物，清理閥體內(nèi)腔與法蘭面，確保潔凈無雜質(zhì)；手動轉(zhuǎn)動執(zhí)行器確認球體旋轉(zhuǎn)順暢無卡澀。

• 檢查氣動執(zhí)行器、氣源接口完好無損傷，配套附件齊全。

2.安裝要求

• 清潔要求：安裝全過程需保持閥體、管路、密封圈潔凈，禁止用手直接觸碰真空密封面，避免油污、雜質(zhì)、粉塵進入真空系統(tǒng)，影響真空度與密封性能。

• 連接密封：選用匹配規(guī)格的真空專用密封圈，放置于法蘭密封槽內(nèi)，按對角順序均勻?qū)ΨQ緊固法蘭螺栓，確保法蘭面平行貼合，密封均勻可靠。

• 安裝方向：閥門為雙向密封，正反向均可安裝；推薦執(zhí)行器朝上布置，避免積水、積塵；安裝位置需預留操作與維護空間。

• 氣源配置：氣源必須經(jīng)過過濾干燥處理，建議加裝真空專用過濾減壓閥，避免水汽、雜質(zhì)進入氣缸，影響執(zhí)行器壽命與動作穩(wěn)定性。

3.調(diào)試與驗收

1. 安裝完成后，通入0.4~0.7MPa潔凈壓縮空氣，測試閥門開關(guān)動作，確認啟閉順暢、到位準確，無卡澀、無漏氣。

2. 配套自控附件的工況，測試電控信號與閥門動作對應關(guān)系，確認開關(guān)邏輯、信號反饋準確。

3. 接入真空系統(tǒng)后，按照規(guī)范進行真空檢漏測試，確認整體泄漏率符合工況要求，方可投入正式運行。

六、維護與保養(yǎng)

1.日常巡檢

• 定期檢查法蘭連接處、閥體有無泄漏，真空系統(tǒng)定期檢測漏率，出現(xiàn)泄漏上升及時排查原因。

• 檢查氣源管路、接頭有無漏氣，執(zhí)行器動作是否順暢，開關(guān)位置是否準確。

• 觀察閥門運行有無異響、卡滯，發(fā)現(xiàn)異常及時停機排查。

2.定期維護

• 每季度對氣源處理元件進行排水排污，定期更換濾芯，保障氣源潔凈干燥。

• 每半年至一年結(jié)合系統(tǒng)檢修，拆解檢查密封件老化、磨損情況，出現(xiàn)開裂、變形、磨損及時更換真空專用密封件。

• 清理閥體內(nèi)腔與球面雜質(zhì)，擦拭密封面時使用無塵潔凈布，避免劃傷密封面與球面。

• 每年對執(zhí)行器傳動部位加注專用潤滑脂，保持傳動順滑。

3.長期停用保養(yǎng)

• 長期停運的真空系統(tǒng)，應將閥門調(diào)整至半開狀態(tài)，避免密封面長期受壓變形。

• 封閉兩端法蘭口，使用潔凈防塵封蓋保護密封面，防止粉塵、雜質(zhì)進入閥腔。

• 存放于干燥、潔凈、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免密封件老化與閥體污染。

七、典型應用領(lǐng)域

• 半導體電子：晶圓制造、芯片封裝、刻蝕鍍膜等真空工藝管路，真空腔體進氣與截止控制

• 光伏新能源：光伏電池鍍膜設備、PECVD設備、真空鍍膜生產(chǎn)線的真空管路控制

• 真空熱處理：真空淬火爐、真空釬焊爐、真空退火爐的真空系統(tǒng)通斷控制

• 科研實驗：高校實驗室、科研院所的真空試驗裝置、真空檢測設備

• 醫(yī)藥凍干：真空冷凍干燥設備、醫(yī)藥凍干生產(chǎn)線的真空管路控制

• 鋰電行業(yè)：鋰電池極片干燥、注液工序的真空環(huán)境管路控制

• 其他場景：真空包裝、真空干燥、航天真空試驗、化工真空精餾等各類高真空工藝系統(tǒng)

八、安全注意事項

1. 嚴禁在超出額定真空度、工作溫度范圍的工況下使用，避免造成密封失效、真空度不達標與閥體損壞。

2. 帶真空、帶正壓狀態(tài)下嚴禁拆解閥門、松動法蘭螺栓，檢修必須先對系統(tǒng)破真空、泄壓并排空介質(zhì)后進行。

3. 禁止敲擊、碰撞閥門，禁止用尖銳物品刮劃密封面與球面，避免密封面損傷導致泄漏率升高，破壞系統(tǒng)真空度。

4. 用于有毒、有害、易燃易爆介質(zhì)的真空系統(tǒng)時，需定期檢漏，確認密封可靠后方可持續(xù)運行；檢修時做好安全防護，避免介質(zhì)泄漏傷人。

5. 真空系統(tǒng)調(diào)試與維護時，需嚴格遵守真空作業(yè)安全規(guī)范，防止負壓吸附、高溫燙傷等安全風險。

6. 單作用彈簧復位款閥門，嚴禁擅自拆除或更換彈簧，避免斷氣復位失效引發(fā)工藝安全事故。