PLAZMARK氬氣清洗專用款產(chǎn)品概述:該指示劑可提升電離氬等離子體的檢測(cè)效率,氧氣清洗型指示劑很難檢測(cè)出電離氬等離子體。使用本指示劑能夠更高效地檢測(cè)電離氬等離子體,而采用氧氣清洗型指示劑則難以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。
但對(duì)于自由基可控等離子體、自由基氣源等混合體系,氧氣清洗專用指示劑的檢測(cè)效果更優(yōu)。
PLAZMARK氬氣清洗專用款產(chǎn)品適用領(lǐng)域:
大規(guī)模集成電路、存儲(chǔ)器、微機(jī)電系統(tǒng)、LED 等電子元器件封裝密封前清洗。
提供4種不同的靈敏度類型和3種不同的形狀類型:



“只需放置”卡牌類型 “粘貼”標(biāo)簽類型 “大面積分布評(píng)估”表類型
變色:

處理后顏色變化與AU蝕刻速率的比較
處理后顏色變化與AU蝕刻速率的比較 色彩差異與 AU 蝕刻速率的相關(guān)性
(等離子體狀態(tài):Ar = 20 Pa,RF = 80-140 W)
PLAZMARK™ 用于 AR 清潔
加工氣體(等離子體種類):如氬,適用于離子控制等離子體的氣體(包括氬,稀有氣體,難以通過氧氣清洗檢測(cè))
No.20(超高靈敏度)
| 形狀 | 卡牌 | 廠牌 | 表 |
|---|---|---|---|
| 耐熱性 | 100°C | ||
| 結(jié)構(gòu) | 基材:PET薄膜 顏色變化部分:有機(jī)著色劑、樹脂 | ||
| 規(guī)模 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 底材:210 × 297 × 0.2 毫米 顏色變化部分:190 × 290 毫米 |
| 數(shù)量/包裝 | 100件 | 100件 | 5張紙 |
| 產(chǎn)品編號(hào)。 | PLC0207-20 | PLL0207-20 | PLC2130-20 |
No.21(高靈敏度)
| 形狀 | 卡牌 | 廠牌 | 表 |
|---|---|---|---|
| 耐熱性 | 100°C | ||
| 結(jié)構(gòu) | 基材:PET薄膜 顏色變化部分:有機(jī)著色劑、樹脂 | ||
| 規(guī)模 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 底材:210 × 297 × 0.2 毫米 顏色變化部分:190 × 290 毫米 |
| 數(shù)量/包裝 | 100件 | 100件 | 5張紙 |
| 產(chǎn)品編號(hào)。 | PLC0207-21 | PLL0207-21 | PLC2130-21 |
No.22(中等敏感度)
| 形狀 | 卡牌 | 廠牌 | 表 |
|---|---|---|---|
| 耐熱性 | 100°C | ||
| 結(jié)構(gòu) | 基材:PET薄膜 顏色變化部分:有機(jī)著色劑、樹脂 | ||
| 規(guī)模 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 底材:210 × 297 × 0.2 毫米 顏色變化部分:190 × 290 毫米 |
| 數(shù)量/包裝 | 100件 | 100件 | 5張紙 |
| 產(chǎn)品編號(hào)。 | PLC0207-22 | PLL0207-22 | PLC2130-22 |
No.23(低靈敏度)
| 形狀 | 卡牌 | 廠牌 | 表 |
|---|---|---|---|
| 耐熱性 | 100°C | ||
| 結(jié)構(gòu) | 基材:PET薄膜 顏色變化部分:有機(jī)著色劑、樹脂 | ||
| 規(guī)模 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 基底:20 × 70 × 0.2 毫米 顏色變化部分:φ11 毫米 | 底材:210 × 297 × 0.2 毫米 顏色變化部分:190 × 290 毫米 |
| 數(shù)量/包裝 | 100件 | 100件 | 5張紙 |
| 產(chǎn)品編號(hào)。 | PLC0207-23 | PLL0207-23 | PLC2130-23 |































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