核心技術(shù)參數(shù)

1. 整機(jī)通用基礎(chǔ)參數(shù)

1. 供電規(guī)格：AC100V 單相 15A，三孔接地電源插頭

2. 整機(jī)外形尺寸：寬 400mm × 深 356mm，底座高 280mm；碳蒸鍍腔加高 185mm，濺射腔加高 101mm

3. 整機(jī)凈重：29kg；配套旋片真空泵重量 14.6kg，抽氣速率 50L/min

4. 腔體材質(zhì)：防爆硬質(zhì)高透玻璃，氟橡膠真空密封墊圈

5. 適配靶材：金、金鈀、鉑、銀、銅、鉻、ITO 等金屬 / 合金濺射靶材

2. 左側(cè)碳蒸鍍腔體參數(shù)

1. 腔體內(nèi)徑：Φ120mm，腔體高度 140mm

2. 蒸發(fā)源與樣品臺間距：45~75mm 連續(xù)可調(diào)

3. 供電模式：預(yù)烘烤、除氣、蒸鍍?nèi)坞妷簷n位，參數(shù)可記憶保存

3. 右側(cè)離子濺射腔體參數(shù)

1. 腔體內(nèi)徑：Φ120mm，腔體高度 65mm

2. 樣品臺直徑：Φ50mm，懸浮浮動式電極結(jié)構(gòu)

3. 電極與樣品臺固定間距：35mm

4. 濺射電源：DC500V，輸出電流 0~50mA 連續(xù)可調(diào)，實時電流表盤顯示

5. 程序功能：內(nèi)置鍍膜計時模塊，支持自動循環(huán)濺射作業(yè)

4. 等離子親水處理參數(shù)

1. 放電模式：低壓輝光等離子放電

2. 適用處理試樣：高分子薄膜、生物組織切片、陶瓷絕緣材料

3. 處理效果：提升樣品表面親水浸潤性，消除表面有機(jī)污染物

適用行業(yè)與檢測場景

1. 高校材料 / 生物實驗室

   SEM、TEM 教學(xué)實驗試樣前處理；金屬、陶瓷、高分子、生物切片導(dǎo)電鍍膜；薄膜材料表面親水化改性研究。

2. 第三方材料檢測機(jī)構(gòu)

   各類未知固體樣品微觀形貌檢測預(yù)處理，批量試樣標(biāo)準(zhǔn)化快速制備，滿足大批量檢測業(yè)務(wù)需求。

3. 半導(dǎo)體微電子研發(fā)實驗室

   晶圓、芯片微型器件貴金屬濺射導(dǎo)電層，用于微觀缺陷、斷面微觀形貌電鏡觀測。

4. 新能源電池材料實驗室

   鋰電池正負(fù)極粉體、隔膜、極片試樣碳膜 / 金鈀膜蒸鍍，觀測顆粒微觀形貌、內(nèi)部孔隙結(jié)構(gòu)。

5. 生物醫(yī)藥科研單位

   軟組織、生物切片低損傷等離子預(yù)處理，制備無電荷干擾的電鏡觀測樣品。

6. 配套設(shè)備適配

   臺式掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、透射電鏡、原子力顯微鏡 AFM 配套樣品前處理設(shè)備。

核心功能優(yōu)勢

1. 三合一集成設(shè)計，一機(jī)替代三臺設(shè)備

   整合碳蒸鍍、貴金屬磁控濺射、等離子親水化三大電鏡前處理工藝，無需分別采購碳鍍膜機(jī)、濺射儀、等離子清洗機(jī)，減少設(shè)備采購預(yù)算，節(jié)約實驗室臺面擺放空間。

2. 雙腔體獨立作業(yè)，大幅提升樣品處理效率

   左右腔體抽真空、放氣回路隔離，一個腔體開蓋更換樣品時，另一腔體可保持真空狀態(tài)持續(xù)作業(yè)，無需整機(jī)重復(fù)抽真空，批量試樣處理工時縮短 50% 以上。

3. 可視化防爆玻璃腔體，實時監(jiān)控成膜狀態(tài)

   高透明硬質(zhì)玻璃腔體可直觀觀察碳蒸發(fā)、金屬濺射全過程，操作人員可實時判斷膜層厚度、成膜均勻程度，避免過蒸鍍、膜層缺失導(dǎo)致樣品觀測失效。

4. 納米級細(xì)膩濺射膜層，適配十萬倍以上高倍率電鏡觀測

   磁控濺射工藝生成貴金屬導(dǎo)電膜晶粒尺寸極小，無粗大顆粒偽影，滿足場發(fā)射 SEM 超高倍率形貌觀測要求；碳蒸鍍適配大尺寸試樣、低倍率常規(guī)觀測，兩種工藝自由切換覆蓋全部觀測需求。

5. 工藝參數(shù)可預(yù)設(shè)記憶，保障實驗數(shù)據(jù)可重復(fù)

   碳蒸鍍加熱檔位、濺射輸出電流、鍍膜計時時長均可預(yù)設(shè)存儲，同批次試樣一鍵調(diào)用固定工藝參數(shù)，實驗成像效果、膜層厚度保持統(tǒng)一，符合實驗室標(biāo)準(zhǔn)化實驗管控要求。

6. 小型輕量化臺式機(jī)身，普通實驗室均可安置

   整機(jī)凈重僅 29kg，占地面積小，無需定制專用設(shè)備機(jī)柜，配套小型真空泵可收納于設(shè)備底部，小型高校實驗室、第三方檢測小作坊均可輕松布置。

7. 兼顧導(dǎo)電鍍膜與表面改性，覆蓋多領(lǐng)域試樣處理需求

   除消除絕緣樣品荷電的導(dǎo)電膜制備外，內(nèi)置等離子親水模塊可處理高分子薄膜、生物切片、陶瓷材料，改善表面浸潤特性，同時適配材料形貌觀測與表面改性研究兩類實驗。

8. 簡易自動化流程，人員快速上手操作

   整機(jī)采用實體按鍵、模擬表盤、機(jī)械計時旋鈕，無復(fù)雜觸控編程；設(shè)定鍍膜時長后一鍵啟動全自動流程，鍍膜完成自動切斷電源并釋放腔體真空，無專業(yè)設(shè)備操作經(jīng)驗人員也可穩(wěn)定完成試樣制備。