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混氣管式PECVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成
1200℃可傾斜式旋轉(zhuǎn)管式爐，為煅燒無機(jī)化合物獲得較好的*性而設(shè)計。用于無機(jī)化合物（礦粒和電池材料）的均勻燒結(jié)，該款管式爐是粉末冶金，陶瓷，耐火材料，鋰電正負(fù)極...
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