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RTP滑軌式快速退火爐主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，可在真空、不同氣氛、空氣不同環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，不同材料快速退火、硅化、擴散...
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