半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)是表征和分析半導(dǎo)體材料的重要手段，可根據(jù)霍爾系數(shù)的符號判斷材料的導(dǎo)電類型。霍爾效應(yīng)本質(zhì)上是運(yùn)動的帶電粒子在磁場中受洛侖茲力作用引起的偏轉(zhuǎn)，當(dāng)帶電粒子（電子或空穴）被約束在固體材料中，這種偏轉(zhuǎn)就導(dǎo)致在垂直于電流和磁場的方向上產(chǎn)生正負(fù)電荷的聚積，形成附加的橫向電場。

根據(jù)霍爾系數(shù)及其與溫度的關(guān)系可以計(jì)算載流子的濃度，以及載流子濃度同溫度的關(guān)系，由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質(zhì)電離能；通過霍爾系數(shù)和電阻率的聯(lián)合測量能夠確定載流子的遷移率，用微分霍爾效應(yīng)法可測縱向載流子濃度分布；測量低溫霍爾效應(yīng)可以確定雜質(zhì)補(bǔ)償度。與其他測試不同的是霍爾參數(shù)測試中測試點(diǎn)多、 連接繁瑣，計(jì)算量大，需外加溫度和磁場環(huán)境等特點(diǎn)，在此前提下，手動測試是不可能完成的。

普賽斯儀表開發(fā)的國產(chǎn)源表搭建半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)測試實(shí)驗(yàn)平臺可以實(shí)現(xiàn)幾千到至幾萬點(diǎn)的多參數(shù)自動切換測量，系統(tǒng)由S系列國產(chǎn)源表，2700矩陣開關(guān)和S型測試軟件等組成?？稍诓煌拇艌?、溫度和電流下根據(jù)測試結(jié)果計(jì)算出電阻率、霍爾系數(shù)、載流子濃度和霍爾遷移率，并繪制曲線圖。在半導(dǎo)體制程的晶圓基片和離子注入等階段，或者封裝好的霍爾器件需要做霍爾效應(yīng)的測試。

需要測試的參數(shù)：

電阻率

霍爾系數(shù)

載流子濃度

霍爾遷移率特性曲線

范德堡法

需要的儀器列表：

國產(chǎn)S型源表

開關(guān)

變溫器

可變磁場

軟件