詳細摘要: OPTM系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數(shù)分析。可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、...
產(chǎn)品型號:OPTM所在地:國外更新時間:2022-09-29 在線留言
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詳細摘要: OPTM系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數(shù)分析。可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、...
產(chǎn)品型號:OPTM所在地:國外更新時間:2022-09-29 在線留言詳細摘要: SF-3晶圓厚度測量儀使用分光干涉法原理,可對硅厚度、碳化硅厚度、氮化硅厚度、藍寶石厚度等多種特殊材料實現(xiàn)高速無損、非接觸式測量,可用于晶圓減薄過程中的厚度實時...
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