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139次NANO-MASTER 產(chǎn)品資料，包含ALD原子層沉積系統(tǒng)、IBE離子束刻蝕系統(tǒng)、PAMOCVD、PECVD、RIE反應離子刻蝕、Sputter磁控濺射系統(tǒng)、光學涂覆系統(tǒng)、雙系統(tǒng)、熱蒸發(fā)鍍膜及電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)、濕法清洗去膠刻蝕系統(tǒng)等。
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