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513次NEE-4000（A）全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)：NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔配置，樣品臺(tái)位于主腔體，二級(jí)腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，通過主腔放入基片到樣平臺(tái)（或夾具）上或從中取出。自動(dòng)裝/卸載基片可通過第三方的預(yù)真空鎖實(shí)現(xiàn)。通過PC計(jì)算機(jī)控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。
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