沈樵综合在线,一区二区三区乱码,免费资源一区二区三区,91超碰碰,av极品一线天,日韩免费高清一区二区,国产蜜尤福利在线,嗯啊91在线观看,精品一区二三

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司


當(dāng)前位置：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司>>光刻機(jī)>>EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)

返回列表頁(yè)
參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

聯(lián)系方式：卜先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-07-20 12:00:52瀏覽次數(shù)：275次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：上海上海

聯(lián)系人：卜先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)基本功能：研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝

詳細(xì)介紹

  EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)基本功能：研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝。

一、 簡(jiǎn)介

  EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)在單室設(shè)計(jì)上可以滿(mǎn)足研發(fā)工作，與EVG的自動(dòng)化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓，可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG*的OmniSpray涂層技術(shù)，在3D結(jié)構(gòu)晶圓上實(shí)現(xiàn)光刻膠或聚合物的共形層，用于互連技術(shù)。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗，同時(shí)改善了均勻性并防止了擴(kuò)散。

二、EVG101勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

  1）晶圓尺寸：高達(dá)300mm(12寸)

  2）支持模式：旋涂/ OmniSpray®/生長(zhǎng)

  3）晶圓支撐模式：?jiǎn)伪?雙EE/邊緣/翻動(dòng)

  4）分配模式：

  - 各種分配泵，可覆蓋高達(dá)52000cP的各種粘度

  - 恒壓分配系統(tǒng)

  - EBR / BSR /預(yù)濕/碗洗/液體灌注

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)噴涂結(jié)果

圖1 噴涂結(jié)果

三、EVG101勻膠機(jī)特征：

  1）晶圓尺寸可達(dá)300 mm

  2）自動(dòng)旋涂或噴涂或使用手動(dòng)晶圓裝載/卸載進(jìn)行顯影

  3）利用從研究到生產(chǎn)的快速簡(jiǎn)便的過(guò)程轉(zhuǎn)換

  4）成熟的模塊化設(shè)計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)化軟件

  5）注射器分配系統(tǒng)，用于利用小的光刻膠體積，包括高粘度光刻膠

  6）占地面積小，同時(shí)保持高水平的個(gè)人和過(guò)程安全性

  7）多用戶(hù)概念(無(wú)限數(shù)量的用戶(hù)帳戶(hù)和程序，可分配的訪問(wèn)權(quán)限，不同的用戶(hù)界面語(yǔ)言)

  8）選項(xiàng)：

  - 采用OmniSpray®涂層技術(shù)均勻涂覆晶圓的高表面形貌

  - 用于后續(xù)鍵合工藝的蠟和環(huán)氧樹(shù)脂涂層

  - 旋涂玻璃(SOG)涂層

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)噴涂結(jié)構(gòu)

圖2 噴涂形成的金屬結(jié)構(gòu)


關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

儀表網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://m.liuyangwu.com,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，儀表網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

請(qǐng) 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
乌拉特前旗| 安义县| 宁明县| 毕节市| 舞钢市| 堆龙德庆县| 沛县| 潼南县| 凌海市| 攀枝花市| 华宁县| 巫山县| 南通市| 博兴县| 措美县| 安顺市| 南昌县| 绥棱县| 靖宇县| 盐亭县| 通山县| 高邮市| 墨江| 镇平县| 邻水| 霍山县| 台南市| 乡宁县| 太仓市| 耒阳市| 东光县| 金昌市| 莱州市| 新津县| 景东| 宝山区| 宜君县| 定州市| 秦皇岛市| 香港| 武穴市|