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超高真空磁控濺射鍍膜機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：瞿經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-01-14 07:36:05瀏覽次數(shù)：930次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：73條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：瞿經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件，本底真空可達到10-9~10-10Torr量級

詳細介紹

矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件，本底真空可達到10-9 ~ 10-10 Torr量級。在超高真空環(huán)境下制備出的薄膜材料含氧量低、晶粒性更為明顯，廣泛適用于超導(dǎo)結(jié)、量子器件和自旋電子學(xué)的研究開發(fā)。


技術(shù)參數(shù)：

1 本底真空可達10-9 ~ 10-10 Torr；

2 單基片設(shè)計，尺寸可定制；

3 基片可旋轉(zhuǎn)并加熱：300℃/500℃/800℃；

4 最多可拓展8支磁控濺射靶槍，共濺射；

5 靶槍角度可調(diào)，濺鍍距離可調(diào)，可升級強磁靶；

6 防交叉污染隔板設(shè)計；

7 可配備離子束輔助沉積；

8 可配備樣品預(yù)清洗功能；

9 可配備快速進樣室；

10 可配備自動壓力控制系統(tǒng)；

關(guān)鍵詞：鍍膜機 控制系統(tǒng)
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