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iSPRAY-300 半自動(dòng)噴膠機(jī)

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更新時(shí)間：2024-08-11 07:43:08瀏覽次數(shù)：237次

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上海德竹芯源科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

針對具備高度結(jié)構(gòu)化晶圓形貌、深度 MEMS 結(jié)構(gòu)或不平整表面特征的基板，SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機(jī)，適用于手動(dòng)噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應(yīng)用于研究與開發(fā)實(shí)驗(yàn)室，尤其是 MEMS 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。經(jīng)過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結(jié)合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠生成精細(xì)的小液滴。在一個(gè)封閉式工藝室中噴嘴經(jīng)由“弓"字型行進(jìn)路徑進(jìn)......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能

● 可編程，最多 50 個(gè)程序

● 最多可同時(shí)噴涂 4 個(gè)晶基板

● 適用于重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)功能

● 觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置

● 工藝參數(shù)：噴嘴行進(jìn)路徑，噴灑臂速度，噴灑時(shí)間，錐形束形狀電氣驅(qū)動(dòng)的噴灑臂，其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選

● 可調(diào)整的噴嘴，具有恒定的噴灑壓力和自動(dòng)的清潔功能

● 用于計(jì)量壓縮空氣和檢查真空度的指示元件

● 手動(dòng)裝卸基板

性能參數(shù)

● 噴灑臂的速度和定位精度： 0.4 m/s，±0.1 mm