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LINXON myRGA 四極質譜分析儀:高性價比的真空氣體分析利器

時間:2026/4/10閱讀:719
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INFICON 設計制造的 LINXON myRGA 四極質譜分析儀,是面向普通真空與科研市場的高性價比殘余氣體分析設備,兼具高性能、易操作、低維護等多重特點,在檢漏、工藝氣體監(jiān)控等場景中表現亮眼,成為真空鍍膜、熱處理等領域的優(yōu)選分析儀器。

高性價比兼具精準性能是該設備的核心特點。作為主打高性價比的 RGA 產品,其以親民價格擁有極小的可檢測分壓強,EM 款可達 1.5E-14mbar,搭配<1amu 的高分辨率與 3 毫秒的快速數據收集速率,能精準捕捉低含量氣體濃度與微小壓強變化。設備提供 100/200amu 兩種質量數范圍可選,標配法拉第杯檢測器,也可選配電子倍增器,后者靈敏度更高,可滿足不同精度的氣體分析、污染檢測需求,溫度系數<1%/℃,在復雜工況下仍能保持檢測數據穩(wěn)定。

模塊化設計讓維護與適配更便捷,大幅降低使用成本。傳感器采用創(chuàng)新雙燈絲設計,集成涂敷氧化釔的銥燈絲與鎢燈絲,可根據工況靈活選擇 —— 銥燈絲適配含氧過程,鎢燈絲適配含鹵素過程,有效延長燈絲壽命,備用燈絲還能保障設備最大上線時間。燈絲套件、離子源組件及電子倍增器均可現場快速更換,無需專業(yè)操作,更換燈絲套件即可替代傳統(tǒng) RGA 的整個離子源,大幅節(jié)約維護成本。同時傳感器可并行測量總壓強,實現燈絲過壓保護,進一步提升設備使用安全性。

操作與集成簡單化,適配多場景使用需求。設備搭載機載網頁服務器,無需安裝軟件,通過網頁瀏覽器即可操作,支持 PC、平板、智能手機多終端訪問,界面會動態(tài)適配屏幕尺寸,操作門檻極低;隨機附贈 LabVIEW 軟件開發(fā)套件,可根據需求定制操作軟件,搭配 TCP/IP 以太網連接,輕松實現系統(tǒng)集成。設備還支持監(jiān)視器掃描、調諧、診斷等多模式切換,內置檢漏功能,能快速定位真空系統(tǒng)泄漏問題,滿足多樣化的檢測需求。

此外,設備具備出色的環(huán)境適應性,最大烘烤溫度達 300℃,FC 款傳感器可在 200℃下工作,EM 款為 150℃,能適配真空鍍膜、低壓熱處理等高溫工業(yè)工況,且整機符合 RoHS 認證,傳感器與電子學設備可互換,進一步提升了設備的適配性與復用性。依托 INFICON 的專業(yè)制造工藝,該設備還擁有高平均故障間隔時間,低總體擁有成本的優(yōu)勢讓其成為真空氣體分析領域的高價值之選。

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