累積泄漏檢測儀操作方法
說明：LDS3000?AQ 為常壓累積法檢漏，主機只檢測示蹤氣體濃度；累積腔、工件充氣系統(tǒng)、腔體攪拌風扇、吹掃系統(tǒng)均為配套工裝，不屬于主機INFICON。操作分為：開機預熱、參數(shù)配置、校準、單次測量、產線自動模式、關機維護。支持 CU1000 手持操作單元操作，也可通過 IO / 現(xiàn)場總線由 PLC 全自動控制INFICON。
一、開機上電流程
確認硬件連接：質譜模塊 24V 供電、前級泵供電、采樣管路連接累積腔采樣口；CU1000 操作單元、IO1000 模塊、總線接線完成。
開啟前級機械泵，再接通質譜模塊 24V 電源，儀器自動啟動。
系統(tǒng)自動啟動渦輪分子泵，預熱時間<3?min，等待質譜陰極點亮、儀器進入就緒狀態(tài)，消除初始背景基線INFICON。
?? 必須等儀器就緒，背景穩(wěn)定后再做測試；剛開機禁止直接測量。
二、基礎參數(shù)設置(CU1000 操作單元)
優(yōu)先使用內置 AQ 向導(AQ Wizard) 完成全套累積模式配置，適合新手；也可手動逐項設置ManualsLib。
運行模式選擇：選擇 AQ?累積模式(不要選真空檢漏 / 嗅探模式)。
示蹤氣體選擇：
氦氣 He(質量數(shù) 4)
成型氣 95% N?+5% H?(氫氣 H?，質量數(shù) 2)
漏率單位：常用 mbar·l/s，按需切換 Pa?m³/s。
累積腔關鍵參數(shù)(AQ 核心參數(shù))
表格
參數(shù)說明
累積腔容積輸入實際腔體體積 L，計算漏率必須參數(shù)
累積時間示蹤氣體富集時間，根據(jù)漏率規(guī)格設定，幾百 ms~ 幾十 s
吹掃時間每次測試結束，吹掃腔體，清除殘留示蹤氣體
機械因子(Machine Factor)腔體、管路補償系數(shù)，校準后得到
判廢閾值設置 OK/NG 漏率限值，儀器自動輸出 IO 信號
開啟腔內攪拌風扇(工裝)，保證腔體內示蹤氣體濃度均勻，否則漏率讀數(shù)偏差大INFICON。
三、零點與校準(非常關鍵，影響精度)
AQ 模式必須校準，分為零點 ZERO、外部標準漏孔校準INFICON。
1. ZERO 零點清零
累積腔內部無工件，執(zhí)行腔體吹掃，腔內示蹤氣體回到環(huán)境本底，執(zhí)行【ZERO】，把當前環(huán)境背景置零。
建議：每班開機、環(huán)境變化、更換氣體后執(zhí)行 ZERO。
2. 外部標準漏孔校準
將已知標準漏孔放置在累積腔內部；漏孔通入選定示蹤氣體。
進入 AQ 校準菜單，輸入標準漏孔標稱漏率值。
啟動校準流程：儀器執(zhí)行完整累積?測量周期，自動計算出機械因子并保存。
校準完成后，拿開標準漏孔，做一次驗證測試，確認讀數(shù)與標準漏孔一致。
周期建議：每日開機校準；更換腔體、管路、氣體后必須重新校準。
四、手動測試完整步驟(單工件操作流程)
工件預處理：工件內部充入規(guī)定壓力的示蹤氣體，確認工件充氣閥關閉。
將充好氣工件放入累積腔，關閉腔門，腔體密封。
觸發(fā)開始測量(CU1000 按開始，或 IO 觸發(fā))
階段 1：等待 / 累積階段：工件泄漏示蹤氣體，在密閉腔體內富集，風扇攪拌混勻。
階段 2：采樣測量階段：儀器抽取腔體內氣體，質譜檢測示蹤氣體濃度，結合腔體體積、時間換算出工件實際漏率。
階段 3：判定輸出：儀器對比閾值，顯示 OK 合格 / NG 不合格；繼電器 IO 同步輸出結果信號。
測試完成，啟動腔體吹掃：通入新鮮空氣置換，把腔內示蹤氣體排干凈。吹掃完成，方可打開腔門取出工件，準備下一件測試。
重點：上一件工件殘留示蹤氣體會造成下一件虛高漏率，吹掃步驟不可省略。
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