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真空規(guī)管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計 Granville-Phillips真空規(guī)管及顯示器 INFICON真空規(guī)管及顯示器英國EDWARDS真空規(guī)管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測儀冷媒檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀

Htc 真空管件: Htc 金屬真空波紋（軟）管 Htc 彎頭管件 Htc 三通管件 Htc 四通/十字通管件 Htc 真空轉(zhuǎn)接管件

真空開關(guān)及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉(zhuǎn)接頭: HTC 管狀直通型轉(zhuǎn)接頭 HTC 圓錐形大小頭轉(zhuǎn)接頭 HTC KF轉(zhuǎn)其他形式轉(zhuǎn)接頭

石英晶振片: 美國MAXTEK晶振片美國INFICON晶振片

HTC真空角閥: HTC真空角閥-手動 HTC真空角閥-氣動 HTC Z型閥-手動 HTC Z型閥-氣動 HTC Y型閥-手動 HTC Y型閥-氣動 HTC 全金屬閥門 HTC 不銹鋼波紋管密封閥門 HTC 球閥

四極質(zhì)譜分析儀: 瑞士INFICON四極質(zhì)譜

真空泵: 艾克森真空泵干泵泵組復(fù)合渦輪分子泵渦輪分子泵隔膜真空泵旋片泵

HTC真空閘閥: HTC手動－高真空閘閥 HTC手動-超高真空閘閥 HTC氣動-高真空閘閥 HTC氣動-超高真空閘閥

質(zhì)量流量計: Vogtlin流量計 MKS流量計

HTC 真空法蘭: HTC KF法蘭系列 HTC ISO法蘭系列 HTC CF法蘭系列

HTC 中心圈: HTC KF中心圈系列 HTC ISO中心圈系列

HTC訂制真空腔體: 學(xué)術(shù)與研究單位訂制腔體批次真空訂制腔體連續(xù)式真空訂制腔體客制化模組

壓電閥及自動壓強(qiáng)控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強(qiáng)控制儀美國HEY壓電閥

非標(biāo)真空設(shè)備

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MKS流量計的詳細(xì)介紹及選型指南

時間：2014/2/25閱讀：6274

美國MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。

MKS流量計是一種全金屬流量計，適用于各種氣體流量測量，模擬輸出精度為滿量程1%。全金屬的179A可滿足您的各種電氣和機(jī)械配置需求，包括卡邊緣和電器連接。模擬信號接口有9針和15針，數(shù)據(jù)接口有S-485和1/4compression。氣管接口有VCR和VCO。

MKS流量計以單位時間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。

MKS流量計選型：



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