INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓（3.8 x10-9乇至大氣壓）.將兩種測量方式組合在一個具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.

優(yōu)點：

■復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼

■高壓加上時LED指示燈亮
■易清洗
■的引燃功能

■無可燒毀的燈絲
■FPM或金屬密封的饋入件

■寬的壓強測量范圍從5X10^-9毫巴至大氣壓
■對數(shù)模擬輸出訊號

應(yīng)用：

■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強測量
■高真空壓強監(jiān)測
■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍

技術(shù)參數(shù)：

測量范圍（空氣, N2）	毫巴（乇）	5 x 10^-9… 1000 （3.8 x 10^-9… 760）
精度（N2） 1 x 10^-8… 100毫巴	% 讀值	≈±30%
重復(fù)性1 x 10^-8… 100毫巴	% 讀值	≈±5%
安裝方向		任何
允許壓強	巴（）	≤10 （限于惰性氣體）
允許溫度工作（室溫）貯存烘烤^1）燈絲溫度（皮拉尼）	°C °C °C °C	+5 … +55 –40 … +65 150 120
電源電壓
在規(guī)管上	V DC	+15 … +30
在供電單元上, zui大電纜長度^2）	V DC	+16 … +30
紋波	Vpp	≤1
功耗	W	≤2
連接保險絲	AT	≤1
輸出訊號（測量訊號）
電壓范圍	V	0 … +10.5
測量范圍	V	+1.82 … +8.6
電壓與壓強的關(guān)系		對數(shù), 0.6 V/量級
誤差訊號	V	<0.5 （無電源）
	V	>9.5 （皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂）
輸出阻抗	?	2 x 10
zui小負載阻抗	k?	10, 短路保護
響應(yīng)時間 p > 10^-6 毫巴	毫秒	<10
p = 10^-8 毫巴	毫秒	≈1000
規(guī)管標(biāo)識	k?	85, 參考電源公共點
狀態(tài)
僅皮拉尼模式	V	0 （低）
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式	V	15 … 30 （高）
指示燈	LED 綠色	高壓on
電氣連接		FCC 68 設(shè)備連接件, 8腳,凹型
傳感器電纜		8芯,加屏蔽
電纜長度	米	≤50 （8 x 0.14 毫米²）
工作電壓	千伏	≤3.3
工作電流	微安	≤500
暴露于真空的材料		不銹鋼, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W
內(nèi)容積	厘米³	≈20
重量
DN 25 ISO-KF	克	≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF	克	≈720 ≈750
DN 40 CF-F	克	≈980 ≈1010
保護級別		IP 40
標(biāo)準(zhǔn)		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

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INFICON冷陰極和皮拉尼復(fù)合真空計詳細說明

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