CPM四極質(zhì)譜分析儀
CPM 的特點(diǎn)
■ 用于監(jiān)測(cè)復(fù)雜過(guò)程的四極氣體分析系統(tǒng).
■ 允許7 天24 小時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè),達(dá)到zui大的產(chǎn)額和產(chǎn)量, 從而將成本降至zui低.
■ 內(nèi)置CDG, 用于過(guò)程壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)和真空聯(lián)鎖.
■ HexBlock 取樣系統(tǒng)的*性能.
■ 備有可選的校準(zhǔn)參考源, 用于調(diào)諧和氣體參.
■ 足夠的小型和性能,可安裝在壓強(qiáng)很高的真空室內(nèi).
■ 封閉的長(zhǎng)壽命離子源可在阻擋大多數(shù)腐蝕性和反應(yīng)性氣體的同時(shí),檢測(cè)亞ppm 量級(jí)的污染物.
■ 重量輕,易搬運(yùn).
用戶*性
INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)早期報(bào)警:
■ 測(cè)量氣相反應(yīng);
■ 定性氣體純度.
■ 測(cè)量過(guò)程與本底的組分;
■ 鑒別痕量污染物;
■ 驗(yàn)證真空的完整性;
CPM 良好的適配性
空間是可貴的,我們的CPM占空間小,可靈活安裝.為對(duì)被分析氣體影響zui小和在寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)快速提供結(jié)果,我們開發(fā)了多功能的HexBlock 注入口. 為確保zui高的
性能與可靠性, 我們采用已在12,000 臺(tái)以上Transpector 2 氣體分析系統(tǒng)上得到驗(yàn)證的四極傳感器.為適應(yīng)某些復(fù)雜應(yīng)用,如刻蝕和CVD 中存在腐蝕性*的氣體, 我們采用化學(xué)惰性優(yōu)等的316 不銹鋼加工。
支持
作為半導(dǎo)體市場(chǎng)RGA 產(chǎn)品的者, INFICON 具有發(fā)展創(chuàng)新與可靠的,增長(zhǎng)產(chǎn)量的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)資源,加上應(yīng)用網(wǎng)絡(luò),需要時(shí)可隨時(shí)隨地提供專家支持與協(xié)助.
技術(shù)特點(diǎn)
1） 帶EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留時(shí)間下
2 ）質(zhì)量數(shù)40 對(duì)41amu 的貢獻(xiàn)
3 ）零blast 對(duì)2amu 的貢獻(xiàn)
4 ）低發(fā)射下的總壓強(qiáng)精度
5 ）低發(fā)射下的線性,在0.1 至2 倍常規(guī)小孔壓強(qiáng)下
6 ）使用總壓強(qiáng)規(guī)管在低發(fā)射下的壓強(qiáng)調(diào)值
7 ）zui小可檢濃度,氪在空氣中在1-秒停留時(shí)間下
8 ）在封閉型離子源中2E-4 乇,在四極場(chǎng)范圍中將產(chǎn)生約1E-5 乇
9 ）低發(fā)射下離子源zui大工作壓強(qiáng)（燈絲關(guān)斷閾值）
10） zui小EM 增益在zui大EM 電壓下
