晶體的質(zhì)量和壽命不僅影響速率和厚度測(cè)量的準(zhǔn)確性，更重要的是還決定著受控制的過程能否成功完成。INFICON 石英晶體具有經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的品質(zhì)和可靠性，其在各種材料、應(yīng)用和行業(yè)中的無數(shù)次成功的過程運(yùn)行充分證明了這一點(diǎn)。

    我們的 6 MHz 晶體可與所有 INFICON 控制器和監(jiān)控器結(jié)合使用。而 5 MHz 晶體只能與 5MHz 儀器結(jié)合使用；與有些 INFICON 儀器并不兼容。6 MHz 和 5 MHz 晶體具有金、銀或合金三種電極并根據(jù)您的需要采用各種包裝。

如果選用zui合適的晶振片？

1. 金是zui廣泛使用的傳統(tǒng)材料，它具有低接觸電阻，高化學(xué)穩(wěn)定性，易于沉積。用于低應(yīng)力材料，如Al、 Au、Ag、Cu。
2. 銀是接近的電極材料，有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而容易硫化，硫化后的銀接觸電阻高，降低晶振片上膜層牢固。銀鋁合金適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控；所以使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜，如：Ni、 Cr、 Mo、 Zr、 Ni-Cr、 Ti等。
3. 使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學(xué)膜，如：MgF₂、 SiO₂、 Al₂O₃、 TiO₂等。