成熟的量產(chǎn)應(yīng)用

安瓿耗盡檢測(cè)

前驅(qū)體輸送是沉積工藝中影響較大的變量之一。安瓿內(nèi)前驅(qū)體耗盡會(huì)改變進(jìn)入反應(yīng)腔的濃度，而安裝在進(jìn)氣管路上的QCM傳感器能在影響薄膜質(zhì)量之前實(shí)時(shí)捕捉這一變化。盡早發(fā)現(xiàn)耗盡，有助于維持前驅(qū)體供應(yīng)穩(wěn)定、保證薄膜沉積一致性，避免下游環(huán)節(jié)出現(xiàn)異常。

清洗終點(diǎn)檢測(cè)

腔室清洗消耗化學(xué)品并占用時(shí)間。通過(guò)QCM監(jiān)測(cè)腔室壁面的材料去除情況，可以準(zhǔn)確判定清洗結(jié)束時(shí)刻，既能防止清洗不che di，又能避免過(guò)度清洗造成的浪費(fèi)。結(jié)合厚度計(jì)量相關(guān)性分析，QCM在腔室工藝狀態(tài)與晶圓薄膜質(zhì)量之間建立起直接的反饋循環(huán)。

先進(jìn)工藝帶來(lái)的新挑戰(zhàn)