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高分辨率納米壓印模板

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更新時間：2026-05-07 16:26:30瀏覽次數(shù)：271次

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上海納騰儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

高分辨率納米壓印模板

詳細(xì)介紹

儀器簡介：

采用*制造工藝，可把平面納米壓印拓展到任意曲面。標(biāo)準(zhǔn)模板分為三類：Quartz Molds, Silicon Molds, Polymer Molds of 2"、3"、4"。適用于Obducat，Suss，HP，EVG等多種型號的納米壓印設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)：

Delivery of nanoimprint templates in various materials （Si, SiNx, SiC, quartz,glass）.Maximum area of the templates:4 inch with feature size of 100 nm. For smaller area, minimum feature size of 50 nm.

提供各種材料的納米壓印模板（硅，氮化硅，碳化硅，石英玻璃）。模板zui大尺寸：4英寸，特征尺寸為100nm。對于更小的尺寸，zui小的特征尺寸可以達(dá)到50nm。
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Delivery of EBL service for various structures with the feature size down to 30nm.Substrates: any conducting or non-conducting wafers.

提供zui低30nm特征尺寸的各種結(jié)構(gòu)的電子束刻蝕服務(wù)?；澹喝魏螌?dǎo)電或者非導(dǎo)電晶片。
?

Micro and nanofabrications for all kinds of nanostructures in a Si, III-V, II-VI and polymers.

各種納米結(jié)構(gòu)（硅，III-V族元素，II-VI族元素以及聚合物）的微納米加工。

主要特點(diǎn)：

soft mold for thermal nanoimprint 熱壓印的軟模板

quartz mold for UV nanoimprint 紫外壓印的石英模板

silicon mold for thermal nanoimprint 熱壓印的硅模板

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：admin@shnti.com

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 石英玻璃

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