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上海伯東企業(yè)有限公司
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KRI 聚焦離子源 RFICP 220 輔助磁控濺射鍍制 3D 膜2020/10/14
某國內(nèi)3D玻璃制造商采用伯東KRI聚焦射頻離子源RFICP220輔助磁控濺射鍍制3D玻璃膜,以獲取高品質(zhì)3D玻璃膜.其磁控濺射鍍膜工藝流程如下圖:磁控濺射鍍膜原理:電子在電場的作用下加速飛向基片的過程...
伯東 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 輔助鍍制 HfO2 薄膜2020/10/12
傳統(tǒng)直接蒸發(fā)HfO2塊材料,容易產(chǎn)生節(jié)瘤缺陷,吸收很大,限制了薄膜的激光損傷閾值,因此,為了獲取高質(zhì)量的HfO2薄膜,某機(jī)構(gòu)采用KRI考夫曼離子源KDC160輔助鍍制HfO2薄膜.客戶的樣品基底材料為...

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